公开(公告)号：CN102160168B

公开(公告)日：2013-11-13

申请号：CN200980137027.2

申请日：2009-04-06

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 金大镐 ,  洪祥硕 ,  朴周缉 ,  朴善用

IPC: H01L21/687

CPC classification number: H01L21/67781 ,  H01L21/67303 ,  H01L21/67766

Abstract: 本发明提供了一种衬底传输装置，包括多个水平可移动臂，主体以及多个导向器。多个水平可移动臂中的每个都适于装载衬底。主体连接至臂并水平移动各个臂。多个导向器固定至主体，以及分别布置在臂的后面，并且在臂向后移动时，引导装载在各个相应臂上的衬底的位置。因此，该衬底传输装置防止衬底在传输衬底时被移走，并且稳定地传输衬底，从而提高传输效率。

公开(公告)号：CN102160168A

公开(公告)日：2011-08-17

申请号：CN200980137027.2

申请日：2009-04-06

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 金大镐 ,  洪祥硕 ,  朴周缉 ,  朴善用

IPC: H01L21/687

CPC classification number: H01L21/67781 ,  H01L21/67303 ,  H01L21/67766

Abstract: 提供了一种衬底传输装置，包括多个水平可移动臂，主体以及多个导向器。多个水平可移动臂中的每个都适于装载衬底。主体连接至臂并水平移动各个臂。多个导向器固定至主体，以及分别布置在臂的后面，并且在臂向后移动时，引导装载在各个相应臂上的衬底的位置。因此，该衬底传输装置防止衬底在传输衬底时被移走，并且稳定地传输衬底，从而提高传输效率。

公开(公告)号：CN103035551B

公开(公告)日：2015-07-15

申请号：CN201210269687.X

申请日：2012-07-30

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 金鹏 ,  权五珍 ,  张成豪 ,  朴周缉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02 ,  F26B9/06 ,  F26B25/00

Abstract: 提供了用于处理基板的设备和方法。具体地，提供了用于通过超临界工艺处理基板的设备和方法。所述设备包括：壳体，所述壳体提供用于执行工艺的空间；支撑构件，所述支撑构件设置在壳体中以支撑基板；供给口，所述供给口构造成将处理液供给到壳体；遮蔽构件，所述遮蔽构件设置在供给口和支撑构件之间以阻止处理液被直接注入到基板；和排出口，所述排出口构造成从壳体排出处理液。

公开(公告)号：CN103035551A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201210269687.X

申请日：2012-07-30

Applicant: 细美事有限公司

Inventor： 金鹏 ,  权五珍 ,  张成豪 ,  朴周缉

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02 ,  F26B9/06 ,  F26B25/00

Abstract: 本发明提供了用于处理基板的设备和方法。具体地，提供了用于通过超临界工艺处理基板的设备和方法。所述设备包括：壳体，所述壳体提供用于执行工艺的空间；支撑构件，所述支撑构件设置在壳体中以支撑基板；供给口，所述供给口构造成将处理液供给到壳体；遮蔽构件，所述遮蔽构件设置在供给口和支撑构件之间以阻止处理液被直接注入到基板；和排出口，所述排出口构造成从壳体排出处理液。