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公开(公告)号：CN114078721A
公开(公告)日：2022-02-22
申请号：CN202110879368.X
申请日：2021-08-02
Applicant: 细美事有限公司
Inventor： 洪榕焄 , 李康奭 , 张素荣 , 李贤俊
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明提供利用可变电阻器来控制导向销和支承销的接地电阻值，从而能够调节基板上的电荷的流动的基板支承部件及具有基板支承部件的基板处理装置。所述基板支承部件包括：主体；支承销，设置在主体上，并且支承基板；导向销，设置在主体上，并且支承基板；以及电荷控制装置，控制支承销与第一电阻器之间的电连接以及导向销与第二电阻器之间的电连接，以控制基板的周围的电荷。
