公开(公告)号：CN119626875A

公开(公告)日：2025-03-14

申请号：CN202411817763.5

申请日：2024-12-11

Applicant: 纳克微束(北京)有限公司

Inventor： 袁良经 ,  王竞岩 ,  陈志明 ,  连志强 ,  郎永辉 ,  张月新 ,  薛敬宇 ,  杨宇聪 ,  李明惠 ,  郭沫远

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/28 ,  G01N23/2251 ,  G01N23/2204

Abstract: 本发明提供了一种六轴联动运动平台，扫描电子显微镜技术领域。本发明包括：X轴直线运动结构，设置于基座上；Y轴直线运动机构，设置于基座上，用于提供龙门架沿Y方向的运动；Z轴直线运动结构，设置于龙门架上；R轴旋转结构，设置于X轴直线运动结构上，用于使样品进行360°的旋转；T轴倾摆结构，设置于Z轴直线运动结构上，同于提供电子枪组件摆动；A轴直线运动机构，设置于T轴倾摆结构上，用于提供电子枪组件沿A轴方向的直线运动。本发明具有X轴、Y轴、Z轴、A轴、T轴和R轴，能够实现六个方向的运动的调节，在针对大尺寸样品观测时，无需进行切片处理，避免对珍贵的样品造成破坏。

公开(公告)号：CN119595405A

公开(公告)日：2025-03-11

申请号：CN202411817188.9

申请日：2024-12-11

Applicant: 纳克微束(北京)有限公司

Inventor： 李明惠 ,  袁良经 ,  陈志明 ,  刘春杰 ,  赵域 ,  焦雨盈

IPC: G01N1/44

Abstract: 本发明提供了一种样品脱气装置，脱气装置技术领域。本发明包括圆柱型真空腔体，其两端通过门和真空馈通进行封闭，形成真空腔体，真空馈通用于传输信号；环形散热片，其设置于圆柱型真空腔体外，用于对圆柱型真空腔体进行散热；抽真空装置，用于对圆柱型真空腔体抽真空；加热装置，设置于圆柱型真空腔体内，其上设置有待脱气物品，用于对待脱气物品进行加热。本发明通过采用圆柱型真空腔体配合环形散热片，用于加快散热速度，缩短散热时间，提高散热效率。

公开(公告)号：CN119890013A

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202510097708.1

申请日：2025-01-22

Applicant: 纳克微束(北京)有限公司

Inventor： 薛敬宇 ,  陈志明 ,  袁良经 ,  连志强 ,  王竞岩 ,  杨宇聪 ,  李明惠 ,  郭沫远

IPC: H01J37/16 ,  H01J37/067 ,  H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/26

Abstract: 本发明提供了一种超大电镜真空系统，属于真空系统技术领域。本发明包括真空样品仓；龙门架，设置于真空样品仓内；电子枪，设置于龙门架上，其底端设置有物镜；样品存放处理平台，其设置于真空样品仓内；电子枪能够在龙门架上摆动，样品存放处理平台能够在真空样品仓内移动。本发明真空系统技术领域。