公开(公告)号：CN101620236A

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200910151588.X

申请日：2009-07-03

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 本多顺一 ,  稻熊辉往 ,  柴山哲也

IPC: G01P9/04 ,  H01L41/113 ,  H01L41/22

CPC classification number: G01C19/5628 ,  G01C19/5621

Abstract: 本发明公开了角速度传感器及其制造方法。该角速度传感器包括第一层、压电层和第二层。第一层具有第一主面和第二主面，并包括振动部和支持振动部的基底部。压电层形成在第一层的第一主面上。第二层在与第一层的第二主面侧上整体接合至基底部。通过本发明，可以提供灵敏度特性优异并实现生产力提高的角速度传感器及其制造方法。

公开(公告)号：CN101620236B

公开(公告)日：2012-10-03

申请号：CN200910151588.X

申请日：2009-07-03

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 本多顺一 ,  稻熊辉往 ,  柴山哲也

IPC: G01C19/5621

CPC classification number: G01C19/5628 ,  G01C19/5621

Abstract: 本发明公开了角速度传感器及其制造方法。该角速度传感器包括第一层、压电层和第二层。第一层具有第一主面和第二主面，并包括振动部和支持振动部的基底部。压电层形成在第一层的第一主面上。第二层在与第一层的第二主面侧上整体接合至基底部。通过本发明，可以提供灵敏度特性优异并实现生产力提高的角速度传感器及其制造方法。