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公开(公告)号:CN101317328A
公开(公告)日:2008-12-03
申请号:CN200680044615.8
申请日:2006-11-08
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H02N1/006 , H03H9/2426 , H03H9/2463 , H03H9/525
Abstract: 本发明提供一种能够通过简单的元件构造来处理高频区域的电信号的微小机电装置。本发明的微小机电装置包括振动子元件,该振动子元件在衬底上具有多个电极和与该电极相对并通过静电驱动进行振动的梁,所述微小机电装置向多个电极和梁中的某一组合输入高频信号并从该组合输出高频信号。
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公开(公告)号:CN1874146A
公开(公告)日:2006-12-06
申请号:CN200610091656.4
申请日:2006-05-12
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H03H9/462 , H03H3/0072 , H03H9/2463
Abstract: 一种微小谐振器,其并非使微小谐振子的结构不同,而是制成谐振频率不同的微小谐振子,并且Q值低。具有施加直流电压的并联配置的多个梁型振子元件,以使上述振子元件间的直流电压不同地构成微小谐振器。
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公开(公告)号:CN101317328B
公开(公告)日:2011-07-27
申请号:CN200680044615.8
申请日:2006-11-08
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H02N1/006 , H03H9/2426 , H03H9/2463 , H03H9/525
Abstract: 本发明提供一种能够通过简单的元件构造来处理高频区域的电信号的微小机电装置。本发明的微小机电装置包括振动子元件,该振动子元件在衬底上具有多个电极和与该电极相对并通过静电驱动进行振动的梁,所述微小机电装置向多个电极和梁中的某一组合输入高频信号并从该组合输出高频信号。
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