光发射接收复合单元和使用它的位移检测装置

    公开(公告)号:CN1253698C

    公开(公告)日:2006-04-26

    申请号:CN02800904.5

    申请日:2002-02-01

    CPC classification number: G01D5/38

    Abstract: 本发明是光发射接收复合单元(1),通过将光源(3)、用于将返向单元的回射光分为多个光束的光分路部(4)、根据回射光的偏振状态增减透光量的偏振部(5)以及包含用于探测经过偏振部(5)的光的多个光探测部(6_1至6_4)的光接收部(6)进行封装,形成了一体化结构。作为在该单元(1)外部的外部光学系统ET,配置了包含反射型衍射光栅RG的被检测部;使从单元(1)出射的光向反射型衍射光栅RG反射的反射构件(R1a、R1b);接受由反射型衍射光栅RG产生的衍射光、改变其偏振状态的偏振构件(WP1a、WP1b);以及用于反射通过各偏振构件的光、使其沿反方向返回的反射构件(R2a、R2b),构成了光栅干涉型位移检测装置。

    光发射接收复合单元和使用它的位移检测装置

    公开(公告)号:CN1460174A

    公开(公告)日:2003-12-03

    申请号:CN02800904.5

    申请日:2002-02-01

    CPC classification number: G01D5/38

    Abstract: 本发明是光发射接收复合单元(1),通过将光源(3)、用于将返向单元的回射光分为多个光束的光分路部(4)、根据回射光的偏振状态增减透光量的偏振部(5)以及包含用于探测经过偏振部(5)的光的多个光探测部(6-1至6-4)的光接收部(6)进行封装,形成了一体化结构。作为在该单元(1)外部的外部光学系统ET,配置了包含反射型衍射光栅RG的被检测部;使从单元(1)出射的光向反射型衍射光栅RG反射的反射构件(R1a、R1b);接受由反射型衍射光栅RG产生的衍射光、改变其偏振状态的偏振构件(WP1a、WP1b);以及用于反射通过各偏振构件的光、使其沿反方向返回的反射构件(R2a、R2b),构成了光栅干涉型位移检测装置。

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