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公开(公告)号:CN102465093A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201110359959.0
申请日:2011-11-14
Applicant: 索尼公司
CPC classification number: B01L7/52 , B01L3/5027 , B01L2200/147 , B01L2300/0654 , B01L2300/0829 , B01L2300/0887
Abstract: 本文公开了一种反应处理装置与反应处理方法,该反应处理装置包括温度控制部,该温度控制部包括:第一温度控制部,布置在反应区域组的外周边缘部位处;以及平面型第二温度控制部。其中,该第一温度控制部和该第二温度控制部彼此相对地布置,反应区域组位于其间。