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公开(公告)号：CN105978526B
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201610138308.1
申请日：2016-03-11
Applicant: 精工电子水晶科技股份有限公司
IPC: H03H9/215
Abstract: 本发明题为压电振动片及压电振动器。谋求同时达成小型化和CI值的下降。一对振动臂部（3a、3b）在与第1方向相交的第2方向并排地配置，第1方向的基端侧固定在基部（4），并且第1方向的前端侧能够振动，在振动臂部（3a、3b）的基端侧的第2方向的两侧，以使振动臂部（3a、3b）的第2方向的宽度从前端侧到基端侧逐渐扩大的方式形成一对倾斜面（20），相对于振动臂部（3a、3b）的从基端部到前端部为止的全长（L1），形成有一对倾斜面的区域的第1方向上的长度（L2）被设定为0.25倍以上且0.5倍以下。
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公开(公告)号：CN105743460B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201510982973.4
申请日：2015-12-24
Applicant: 精工电子水晶科技股份有限公司
Inventor： 小林高志
Abstract: 本发明提供能够防止导电性粘接剂附着于振动臂部而实现小型化并能够确保良好的振动特性的压电振动器及压电振动器的制造方法。具备经由导电性粘接剂而安装于上层基底基板的压电振动片的压电振动器，其特征在于：压电振动片具有沿着第一方向延伸且沿第二方向并排地配置的第一振动臂部及第二振动臂部、支撑第一振动臂部及第二振动臂部的基部以及位于第一振动臂部及第二振动臂部的第二方向上的外侧并粘接于上层基底基板的第一支撑臂部及第二支撑臂部，比第一支撑臂部及第二支撑臂部更靠近内侧的导电性粘接剂的溢出量与比第一支撑臂部及第二支撑臂部更靠近外侧的导电性粘接剂的溢出量相比更少。
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公开(公告)号：CN105470380B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201510537591.0
申请日：2015-08-28
Applicant: 精工电子水晶科技股份有限公司
Inventor： 小林高志
IPC: H01L41/09 , H01L41/04 , H01L41/053
CPC classification number: H03H9/21 , H01L41/053 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供抑制支撑臂部的破损并减少振动泄漏的发生而进一步提高安装强度的压电振动片及压电振动器。压电振动片（100）具备：基部（110）；一对振动臂部（120A、120B），从基部（110）沿第一（＋Y）方向延伸，沿与第一（＋Y）方向相交的第二（X）方向离开而配置；和支撑臂部（130A、130B），从基部（110）沿第一（＋Y）方向延伸，支撑臂部（130A（130B））具有：第一臂部（133），形成为随着朝向支撑臂部（130A（130B））的前端部（130Z）侧，作为沿着第二（X）方向的长度的宽度逐渐变窄；和第二臂部（134），形成为从第一臂部（133）沿第一方向（＋Y）延伸，随着朝向前端部（130Z）侧，宽度变宽。
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公开(公告)号：CN105978526A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201610138308.1
申请日：2016-03-11
Applicant: 精工电子水晶科技股份有限公司
IPC: H03H9/215
CPC classification number: H03H9/21 , G04C3/12 , H03H9/1014 , H03H9/215
Abstract: 本发明题为压电振动片及压电振动器。谋求同时达成小型化和CI值的下降。一对振动臂部（3a、3b）在与第1方向相交的第2方向并排地配置，第1方向的基端侧固定在基部（4），并且第1方向的前端侧能够振动，在振动臂部（3a、3b）的基端侧的第2方向的两侧，以使振动臂部（3a、3b）的第2方向的宽度从前端侧到基端侧逐渐扩大的方式形成一对倾斜面（20），相对于振动臂部（3a、3b）的从基端部到前端部为止的全长（L1），形成有一对倾斜面的区域的第1方向上的长度（L2）被设定为0.25倍以上且0.5倍以下。
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公开(公告)号：CN103684334A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310426924.3
申请日：2013-09-18
Applicant: 精工电子水晶科技股份有限公司
Inventor： 小林高志
CPC classification number: H01L41/09 , G04C3/12 , G04R20/10 , G04R60/00 , H03H9/1021 , H03H9/215 , H03H2003/026
Abstract: 本发明提供能够抑制刚性降低且谋求小型化、并且振动特性优秀的压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟表。具备：相互平行地设置的一对振动臂部(10、11)；将一对振动臂部的长度方向上的基端部一体地固定的基部；以及形成于一对振动臂部(10、11)中的主面(10b、11b)、沿长度方向延伸的槽部(25)，其特征在于，槽部(25)具有：形成于振动臂部(10、11)的顶端部侧的第一槽部(26)；以及与第一槽部(26)相比形成于振动臂部(10、11)的基端部侧的第二槽部(27)，第二槽部(27)与第一槽部(26)相比向－X轴方向偏移而设置。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101510765B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN200910008254.7
申请日：2009-02-16
Applicant: 精工电子水晶科技股份有限公司
Inventor： 小林高志
CPC classification number: H03H9/21 , H03H3/02 , H03H3/04 , H03H9/1021 , H03H2003/026 , H03H2003/0442 , Y10T29/42 , Y10T29/49147 , Y10T29/49155 , Y10T29/49798
Abstract: 本发明涉及压电振动片及其制造方法、晶圆、包括压电振动片的装置。为了容易、精确和高效地执行频率调节且在不受压电振动片尺寸影响的情况下实现低成本构型及维护性能的提升，提供了一种制造压电振动片的方法，其是一种通过利用晶圆来制造具有压电板、一对激励电极及一对安装电极的方法，该方法包括：外形形成步骤，其在晶圆上形成构架部并形成经由连接部而连接到构架部的多个压电板；电极形成步骤，其将成对的激励电极和成对的安装电极形成至多个压电板上，以及形成经由连接部而分别电连接到成对的安装电极上的多对延伸电极；频率调节步骤，其在成对延伸电极之间施加驱动电压的同时调节压电板频率；以及切割步骤，其使多个压电板分成片段。
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公开(公告)号：CN101510764B
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN200910006745.8
申请日：2009-02-13
Applicant: 精工电子水晶科技股份有限公司
CPC classification number: H03H3/02 , H03H3/04 , H03H9/17 , H03H9/21 , H03H2003/026 , Y10T29/42 , Y10T29/49155 , Y10T29/49798 , Y10T29/53265
Abstract: 本发明涉及压电振动片及其制造方法、包括其的装置、晶圆及其夹具，具体而言，为了有效地制造高质量的压电振动片，而与晶圆的外部形状的精度无关，提供一种利用晶圆(S)一次制造多个压电振动片的方法，该方法包括：形成两个或更多个通孔(40)并同时利用通孔形成多个压电板(10)的外部形状的步骤，其利用光刻技术刻蚀晶圆并且利用通孔的中心构造参考点；准备用于晶圆的夹具的步骤，该夹具具有数量与通孔的数量相等且从平板部上方突出的插入销，其后在将插入销插入通孔的状态下将晶圆安装在平板部上；在多个压电板的外表面上形成电极的步骤；和进行切割以使多个压电板从晶圆分离成片段的步骤。
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公开(公告)号：CN104901647B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201510099352.1
申请日：2015-03-06
Applicant: 精工电子水晶科技股份有限公司
Inventor： 小林高志
Abstract: 本发明题为压电振动片及压电振动器。本发明提高将压电振动片安装于封装件时的安装强度。在一对振动臂部（30、31）的两外侧具有具备装配电极（38A、38B）的一对支撑臂部（32、33）的压电振动片（3）中，在各支撑臂部的装配电极的附近的宽度方向内侧的侧端面，形成在对封装件安装时使用的导电性粘接剂能够进入的凹部（52）。
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公开(公告)号：CN104579229B
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201410589846.3
申请日：2014-10-29
Applicant: 精工电子水晶科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供能够抑制安装时振动臂部的振动泄漏至封装件的压电振动片及具备这种压电振动片的压电振动器。本发明的压电振动片的一个方式的特征在于具备：一对振动臂部，在宽度方向并排地配置；支撑臂部，配置于一对振动臂部之间；基部，连接一对振动臂部和支撑臂部；以及装配部，设置于支撑臂部，其中，在支撑臂部的长度方向上，在装配部与基部之间形成槽部。
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公开(公告)号：CN104852703B
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201510077591.7
申请日：2015-02-13
Applicant: 精工电子水晶科技股份有限公司
Abstract: 本发明题为压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表。提供能够抑制振动臂部的强度下降并同时抑制以2次弯曲模式振动的压电振动片及压电振动器。另外，提供具备这样的压电振动器且可靠性优异的振荡器、电子设备及电波钟表。本发明的压电振动片的一个方式的特征在于，具备基部和与基部连接且沿宽度方向并排地配置的一对振动臂部，在振动臂部的主面，形成有沿宽度方向并排且沿振动臂部的长度方向延伸的多个槽部和将相邻的多个槽部连结的连结槽部，在相邻的槽部彼此之间，沿长度方向形成有壁部，壁部的至少一部分设在比槽部的长度方向的中心更靠近振动臂部的前端侧，连结槽部在前端侧将相邻的槽部彼此连结。
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