具有防污层的产品的制造方法和具有防污层的产品

    公开(公告)号:CN101400746A

    公开(公告)日:2009-04-01

    申请号:CN200780008850.4

    申请日:2007-03-14

    Abstract: 本发明提供一种制造方法,所述制造方法是用于制造具有防污层的产品的制造方法,该方法包括使用含氟组合物在作为所述防污层的下层的有机抗反射层的表面上形成所述防污层的步骤。所述含氟组合物包含选自由各自具有1000~10000的分子量的氟硅烷化合物组成的组的至少一种类型的氟硅烷化合物和选自由各自具有100~700的分子量的氟硅烷化合物组成的组的至少一种类型的氟硅烷化合物。通过这些布置,可在所述有机抗反射层上形成具有足够耐久性的防污层。

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