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公开(公告)号：CN118722005A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410357410.5
申请日：2024-03-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种液体喷射头。本发明的课题在于，提供一种在该液体喷射头中能够抑制各压力室的压力损耗的偏差并改善液体喷射特性的技术。该液体喷射头具有压电元件、振动板和压力室基板，所述压力室基板构成与喷嘴连通且通过振动板的振动而向液体施加压力从而有助于液体的喷射的压力室、和无助于液体的喷射的虚拟压力室。压力室和虚拟压力室为在压力室基板的与振动板相对的面的相反面上开口并且在层叠方向上的朝向振动板的方向上具有深度的凹部。而且，压力室和虚拟压力室在作为相对于层叠方向而垂直的方向的排列配置方向上被排列配置，作为虚拟压力室的深度的第一深度与作为压力室的深度的第二深度相比而较浅。
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公开(公告)号：CN111746121B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202010214729.4
申请日：2020-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本公开内容涉及一种液体喷出头、以及液体喷出装置，并涉及使较多量的液体从喷嘴喷出的技术。液体喷出头具备：喷嘴，其喷出液体；腔板，其在第一面侧排列设置有多个压力腔；流道板，其具有第二面，所述第二面上形成有连通流道的开口，多个压力腔中的相邻的第一压力腔与第二压力腔之间的隔壁的第一区域通过与流道板的第二面相接合从而被约束，隔壁的第二区域在俯视观察时与一个连通流道的开口重叠。
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公开(公告)号：CN111746121A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010214729.4
申请日：2020-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本公开内容涉及一种液体喷出头、以及液体喷出装置，并涉及使较多量的液体从喷嘴喷出的技术。液体喷出头具备：喷嘴，其喷出液体；腔板，其在第一面侧排列设置有多个压力腔；流道板，其具有第二面，所述第二面上形成有连通流道的开口，多个压力腔中的相邻的第一压力腔与第二压力腔之间的隔壁的第一区域通过与流道板的第二面相接合从而被约束，隔壁的第二区域在俯视观察时与一个连通流道的开口重叠。
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公开(公告)号：CN107428166B
公开(公告)日：2019-10-15
申请号：CN201680014404.3
申请日：2016-03-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 一种喷墨头，包括：压力室形成板，其在第一方向上形成有各自与喷嘴连通的多个压力室；振动板，其限定每个压力室的一个表面并允许其限定区域的变形；压电元件，其是通过从振动板的与所述压力室相反的表面在对应于所述压力室的区域中依次堆叠第一电极层、压电层和第二电极层而形成；电路板，其与所述振动板成间隔布置，多个凸块电极介于所述电路板与所述振动板之间，并且所述电路板输出用于驱动所述压电元件的信号；以及粘合剂，其将所述压力室形成板与所述电路板接合，其中所述压电元件的至少一侧的元件端形成在所述限定区域的外侧，并且在与所述第一方向正交的第二方向上由所述粘合剂覆盖。
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公开(公告)号：CN106985523A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201610810603.7
申请日：2016-09-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
Abstract: 本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法以及液体喷射头的制造方法，该MEMS装置使构成记录头的压力室形成基板不易产生机械性的损伤，从而提高记录头的制造成品率或品质。该MEMS装置的特征在于，包括：压力室形成基板(28)，其形成有作为压力室(30)的贯穿口(30a)；第一基板(33)，其与压力室形成基板(28)层压配置；振动板(31)，其在压力室形成基板(28)与第一基板(33)之间覆盖压力室形成基板(28)且对贯穿口(30a)的一方的开口进行密封；压电元件(32)，其被配置在振动板(31)与第一基板(33)之间并使振动板(31)挠曲变形，压力室形成基板(28)与第一基板(33)相比而较小，且在俯视观察时压力室形成基板(28)的端部被配置在第一基板(33)的端部的内侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112895711B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202011373228.7
申请日：2020-11-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种在液体喷射头中高效地配置多个流道的液体喷射头以及液体喷射系统。液体喷射头具备使与在第一轴的方向上喷射液体的喷嘴连通的多个单独流道沿着与所述第一轴正交的第二轴被排列设置而成的单独流道列、和与所述多个单独流道连通的第一共用液室，在所述液体喷射头中，所述多个单独流道分别包括对液体进行贮留的压力室。
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公开(公告)号：CN112895712A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202011373253.5
申请日：2020-11-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种在液体喷射头中高效地配置多个流道的液体喷射头以及液体喷射系统。液体喷射头具备使与在第一轴的方向上喷射液体的喷嘴连通的多个单独流道沿着与所述第一轴正交的第二轴被排列设置而成的单独流道列、和与所述多个单独流道连通的第一共用液室，在所述液体喷射头中，所述多个单独流道分别包括对液体进行贮留的压力室。
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公开(公告)号：CN112895710A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202011373188.6
申请日：2020-11-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种在液体喷射头中高效地配置多个流道的液体喷射头以及液体喷射系统。液体喷射头具备使与在第一轴的方向上喷射液体的喷嘴连通的多个单独流道沿着与所述第一轴正交的第二轴被排列设置而成的单独流道列、和与所述多个单独流道连通的第一共用液室，在所述液体喷射头中，所述多个单独流道分别包括对液体进行贮留的压力室。
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公开(公告)号：CN110114221B
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN201780078445.3
申请日：2017-12-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高可靠性的MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、液体喷射头的制造方法以及液体喷射装置的制造方法。该MEMS装置(记录头3)的特征在于，具备：第一基板(压力室形成基板29)，其上层叠有能够进行可挠变形的薄膜部件(振动板31)；第二基板(密封板33)，其以相对于第一基板(压力室形成基板29)而隔开间隔的方式被配置；粘合层(43)，其将第一基板(压力室形成基板29)和第二基板(密封板33)粘合在一起，在第一基板(压力室形成基板29)的面内方向上，薄膜部件(振动板31)的端缘被延伸设置至与第一基板(压力室形成基板29)的端缘相比靠外侧处。
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公开(公告)号：CN108237777A
公开(公告)日：2018-07-03
申请号：CN201711099112.7
申请日：2017-11-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/01
CPC classification number: B41J2/1612 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1626 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , B41J2202/22 , B41J2/01
Abstract: 一种液体喷出头的制造方法，用一阶段的蚀刻来形成包括凹部和孔部在内的流道，并且还抑制塌边。其中，液体喷出头包括连通基板，连通基板层叠在形成有与喷嘴连通的压力室的压力室基板上，且形成有：凹部，其构成与多个压力室连通的共用液室；第一孔部，其构成连通喷嘴和压力室的喷嘴侧连通流道；第二孔部，其构成连通共用液室和压力室的供给侧连通流道；第三孔部，其构成与共用液室连通的开口部，该方法包括：掩膜层形成工序，在连通基板上形成掩膜层，掩膜层用于形成凹部和与凹部连通的第一孔部至第三孔部；下孔形成工序，在第一孔部至第三孔部上形成下孔；蚀刻工序，对凹部和第一孔部至第三孔部进行各向异性蚀刻；掩膜层去除工序，去除掩膜层。
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