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公开(公告)号：CN103090887B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201210422835.7
申请日：2012-10-29
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/09 , G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备，其能够抑制应力向物理量检测元件被传递的情况。本发明所涉及的物理量检测装置（100）包括：基部（10）；可动部（14），其通过连接部（12）而被基部（10）支承，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件（40），其跨接基部（10）和可动部（14）；第一支承部（20），其从基部（10）起延伸，并具备第一固定部（24）；第二支承部（30），其从基部（10）起延伸，并具备第二固定部（34），第一固定部（24）与第二固定部（34）之间的距离（L1）小于，第一支承部（20）与基部10）的连接根部的部分（23）和第二支承部（30）与基部（10）的连接根部的部分（33）之间的距离L2）。
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公开(公告)号：CN103091509A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210440050.2
申请日：2012-11-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 渡边润
CPC classification number: G01P15/097 , G01P2015/0828
Abstract: 本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备，其能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。物理量检测装置(100)包括：基部(10)；可动部(13)，其经由连接部(12)而被设置在基部(10)上，并根据物理量的变化而发生位移；物理量检测元件(40)，其以跨接基部(10)与可动部(13)的方式而被固定；质量部(50、52)，其被固定在可动部(13)上，可动部(13)包括：第一固定部(14)，其上固定有物理量检测元件(40)；第二固定部(16a、16b)，其上固定有质量部(50、52)；切口部(20a、20b)，其与连接部(12)分离，且具有从可动部(13)的侧面(13e)起到达至与连结第一固定部(14)和第二固定部(16a、16b)的线段(L1、L2)交叉的部位处的切口形状。
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公开(公告)号：CN101556291B
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN200910128373.6
申请日：2009-04-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 渡边润
IPC: G01P15/097 , G01P13/02
CPC classification number: G01P15/097
Abstract: 本发明提供一种加速度的检测灵敏度高且抑制其他轴灵敏度的加速度检测装置。该加速度检测装置具有：矩形环状的外壳(5)；第1驱动臂(10)，其两端部由外壳的相对的两个端边支撑着；单臂构造的第2驱动臂(11)和单臂构造的检测臂(12)，其基端部由一方端边固定而朝向另一方端边延伸；凹部(15a、15b)，其分别形成于两个端边的同一表面上相当于第1驱动臂的两端部的部位；以及缩颈部(16a、16b)，其相对形成在靠近一方端边的上下表面上，第1驱动臂设有激励两端固定的弯曲振动的激励电极，第2驱动臂设有激励一端固定的弯曲振动的激励电极，检测臂设有当检测臂产生一端固定的弯曲振动时拾取通过弯曲振动激励的电荷的电极。
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公开(公告)号：CN102169128A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110007098.X
申请日：2011-01-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01P15/09
CPC classification number: G01P15/097 , G01P15/09
Abstract: 本发明得到构造简单、能够降低制造成本、且高灵敏度地检测较小的加速度的加速度传感器和加速度检测装置。加速度传感器具有压电传感器(10)和支承基板(4)，压电传感器(10)具有：压电传感器要素(20)；用于在支承基板上支承压电传感器要素的被固定部(14a)和被固定部(14c)；以及将被固定部(14a)和(14c)分别与压电传感器要素连接的第1梁～第4梁(12a～12d)，支承基板具有：支承被固定部(14a)的固定侧的第1基板片(5)；支承被固定部(14c)的可动侧的第2基板片(7)；以及铰链部(8)，压电传感器要素是向与检测轴方向(9)垂直的方向延伸的细长结构，并且，传感器要素的短边方向中心部位于铰链部的短边方向宽度内。
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公开(公告)号：CN102680737A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210063622.X
申请日：2012-03-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01C9/06 , G01P15/097 , G01P2015/0871
Abstract: 本发明提供加速度检测器或装置、倾斜传感器或检测装置、电子设备，该加速度检测器能够避免因与封装件的内表面的碰撞或超过强度极限的位移而导致的可动部或加速度检测元件的损坏。加速度检测器的特征在于，具备：基座部；板状的可动部，经由连接部而与该基座部连接；加速度检测元件，跨接基座部和可动部；支承部，在俯视观察时从基座部起沿着可动部而延伸，可动部的两个主面中的至少一个主面上配置有在俯视观察时一部分与支承部重合的质量部，可动部能够根据在与主面交叉的方向上施加的加速度，以连接部为支点而在与主面交叉的方向上位移，在质量部和支承部重合的区域内，于质量部和支承部之间设置有间隙。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102519656A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201210008772.0
申请日：2009-07-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L9/0022 , G01L19/02
Abstract: 本发明提供一种减少伴随温度变化的压力测定值的误差的压力传感器。压力传感器(10)具有：外壳(12)；受压单元(膜片24)，其封闭所述外壳的开口部(22)，将外部压力传递到所述外壳(12)内部；以及感压元件(40)，其具有感压部(振动臂)(40c)和与所述感压部的两端连接的一对基部(第1基部40a、第2基部40b)，将力的检测方向作为检测轴，连接所述一对基部的直线和所述受压单元的位移方向平行配置，并且，将所述基部的一方(第1基部40a)连接到由于所述压力而位移的所述受压单元的中央区域(24a)，将所述基部的另一方(第2基部40b)经由连接部件(42)连接到所述受压单元的固定侧的周缘区域(24c)。
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公开(公告)号：CN102645301B
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201210135217.4
申请日：2009-07-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L9/0022 , G01L19/02
Abstract: 本发明提供一种减少伴随温度变化的压力测定值的误差的压力传感器。压力传感器具有：受压单元，其具有挠性部和所述挠性部外侧的周缘区域，所述挠性部的一个主面具有受压面；外壳，其开口部被作为所述一个主面的内侧的另一个主面封闭；以及双音叉型压电振子，其具有连接在所述另一个主面的中央区域的第1基部、第2基部、以及在所述第1基部和所述第2基部之间的振动臂，所述第1基部和所述第2基部的排列方向与所述受压单元的位移方向平行，该压力传感器的特征在于，所述第2基部被通过连接单元连接到所述另一个主面的所述周缘区域，所述连接单元具有隔着所述振动臂从所述第2基部向第1基部侧延伸的一对支承板。
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公开(公告)号：CN103364583A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310116376.4
申请日：2013-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 渡边润
IPC: G01P15/097 , G01C9/00
CPC classification number: G01P1/023 , B81B3/0021 , B81B2201/0235 , G01P15/0802 , G01P15/09 , G01P15/097 , G01P2015/0828 , Y10T29/49826
Abstract: 本发明提供一种物理量检测装置及其制造方法、物理量检测器、电子设备，所述物理量检测装置能够通过由粘合剂构成的支承部而对质量体进行支承、且使质量体的接合可靠性得到了进一步提高。物理量检测装置包括：基部；可动部，其被所述基部支承着，并根据物理量而进行位移；物理量检测元件，其跨接所述基部和所述可动部；支承部，其被设置在所述可动部的两个主面中的至少一个主面上；质量体，其具有第一开口部，并通过所述第一开口部内被所述支承部填充，从而使所述质量体被所述支承部支承着。
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公开(公告)号：CN102645301A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201210135217.4
申请日：2009-07-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L9/0022 , G01L19/02
Abstract: 本发明提供一种减少伴随温度变化的压力测定值的误差的压力传感器。压力传感器具有：受压单元，其具有挠性部和所述挠性部外侧的周缘区域，所述挠性部的一个主面具有受压面；外壳，其开口部被作为所述一个主面的内侧的另一个主面封闭；以及双音叉型压电振子，其具有连接在所述另一个主面的中央区域的第1基部、第2基部、以及在所述第1基部和所述第2基部之间的振动臂，所述第1基部和所述第2基部的排列方向与所述受压单元的位移方向平行，该压力传感器的特征在于，所述第2基部被通过连接单元连接到所述另一个主面的所述周缘区域，所述连接单元具有隔着所述振动臂从所述第2基部向第1基部侧延伸的一对支承板。
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