公开(公告)号：CN109304936A

公开(公告)日：2019-02-05

申请号：CN201810819268.6

申请日：2018-07-24

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 菅原德起 ,  八十岛健 ,  村本美幸

IPC: B41J2/01

CPC classification number: H01L41/25 ,  B41J2/14233 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14241 ,  B41J2002/14419 ,  B41J2002/14491 ,  B81B2201/03 ,  B81C1/00095 ,  B81C1/00134 ,  H01L41/0475 ,  H01L41/0815 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/29 ,  H01L41/319 ,  B41J2/01

Abstract: 本发明提供一种形成有对粘合层进行保护的保护层的MEMS器件的制造方法以及MEMS器件。MEMS器件(记录头(3))的制造方法的特征在于，具有：第一工序，其在第一空间(供给空间(23))与第二空间(连通空间(33))的分界处残留有金属层(43)的状态下，将该金属层(43)暴露于蚀刻液中，从而在金属层(43)上形成使第一空间(供给空间(23))与第二空间(连通空间(33))连通的开口(金属层开口(47))；第二工序，其在第一工序之后，以从第一空间(供给空间(23))的内表面跨至第二空间(连通空间(33))的内表面的方式而形成保护层(49)，并通过该保护层(49)而覆盖粘合层(31)以及金属层(43)的开口的内表面。