公开(公告)号：CN1894800A

公开(公告)日：2007-01-10

申请号：CN200480037702.1

申请日：2004-12-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 宫田正靖 ,  上原正光

IPC: H01L29/51 ,  H01L21/28 ,  H01L21/316

Abstract: 一种栅极绝缘膜3，由作为主要材料的绝缘无机材料形成，该绝缘无机材料包含硅和氧。栅极绝缘薄3包含氢原子。当在室温下利用傅立叶变换红外光谱测量从未受到电场作用的绝缘膜时，波数在830cm－1至900cm－1范围内的红外线辐射吸光率的一部分小于波数为830cm－1的红外线辐射吸光率和波数为900cm－1的红外线辐射吸光率。此外，在波数为830cm－1的红外线辐射吸光率与波数为770cm－1的红外线辐射吸光率之间差值的绝对值定义为A，而波数为900cm－1的红外线辐射吸光率与波数为990cm－1的红外线辐射吸光率之间差值的绝对值定义为B的情况下，则A和B满足关系：A/B是1.8或大于1.8。

公开(公告)号：CN100464427C

公开(公告)日：2009-02-25

申请号：CN200480037702.1

申请日：2004-12-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 宫田正靖 ,  上原正光

IPC: H01L29/51 ,  H01L21/28 ,  H01L21/316

Abstract: 一种栅极绝缘膜3，由作为主要材料的绝缘无机材料形成，该绝缘无机材料包含硅和氧。栅极绝缘薄3包含氢原子。当在室温下利用傅立叶变换红外光谱测量从未受到电场作用的绝缘膜时，波数在830cm-1至900cm-1范围内的红外线辐射吸光率的一部分小于波数为830cm-1的红外线辐射吸光率和波数为900cm-1的红外线辐射吸光率。此外，在波数为830cm-1的红外线辐射吸光率与波数为770cm-1的红外线辐射吸光率之间差值的绝对值定义为A，而波数为900cm-1的红外线辐射吸光率与波数为990cm-1的红外线辐射吸光率之间差值的绝对值定义为B的情况下，则A和B满足关系：A/B是1.8或大于1.8。

公开(公告)号：CN1985364A

公开(公告)日：2007-06-20

申请号：CN200580023318.0

申请日：2005-06-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 宫田正靖

IPC: H01L21/316 ,  H01L21/28 ,  H01L21/30 ,  C23C16/40

CPC classification number: H01L21/31612 ,  H01L21/0214 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/02238 ,  H01L21/02255 ,  H01L21/02271 ,  H01L21/02337 ,  H01L21/31641 ,  H01L21/31645 ,  H01L21/31662

Abstract: 本申请披露了一种评价绝缘膜(1)的特性的方法。绝缘膜(1)由作为主要材料的绝缘无机材料形成，该绝缘无机材料包含硅和氧。绝缘膜(1)还包含氢原子。所述方法包括以下步骤：利用热脱附谱分析从未对其施加电场的绝缘膜(1)；比较H2片段的强度和OH片段的强度，该H2片段的强度和OH片段的强度是在500～1000℃范围内的温度下加热该绝缘膜(1)的状态下进行测量的；以及基于该比较结果评价绝缘膜(1)的特性。