公开(公告)号：CN1098760C

公开(公告)日：2003-01-15

申请号：CN97111648.2

申请日：1997-03-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 代田光 ,  唐泽和夫 ,  铃木克己 ,  藤崎昌伸

IPC: B28D5/00 ,  H01L41/09

Abstract: 本发明提供了一种不需要熟练作业技术，可实现自动化、提高制造时的有效利用率并可保持良好作业环境的制造片用制造方法。其解决方案是，向用隔板2夹住的水晶晶片1的水晶晶片组4，浸渍入具有水溶性和UV固化性的厌气性粘接剂3，在膜后调整后，用UV灯6使粘接剂3固化。在实施一次切断后，再用隔板8夹住并粘接，进行第二次切断，并去除隔板8。然后用放有溶剂12的循环溢流槽15膨润、溶解并洗净粘接剂3之后，去除隔板2，形成振动片14。

公开(公告)号：CN1164461A

公开(公告)日：1997-11-12

申请号：CN97111648.2

申请日：1997-03-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 代田光 ,  唐泽和夫 ,  铃木克己 ,  藤崎昌伸

IPC: B28D5/00

Abstract: 本发明提供了一种不需要熟练作业技术，可实现自动化、提高制造时的有效利用率并可保持良好作业环境的制造片用制造方法。其解决方案是，向用隔板2夹住的水晶晶片1的水晶晶片组4，浸渍入具有水溶性和UV固化性的厌气性粘接剂3，在膜后调整后，用UV灯6使粘接剂3固化。在实施一次切断后，再用隔板8夹住开粘接，进行第二次切断，并去除隔板8。然后用放有溶剂12的循环溢流槽15膨润、溶解并洗净粘接剂3之后，去除隔板2，形成振动片14。