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公开(公告)号:CN1287713A
公开(公告)日:2001-03-14
申请号:CN99801792.2
申请日:1999-10-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 弹性表面波元件1具有:由石英构成的基板2;由铝层构成的一对梳齿型电极3;电极连接端4;以及由与电极3为相同材料构成的一对栅格状反射器5。在构成电极3的铝层中,其结晶结构形成双晶结构,把铝的(-11—1)面及(1—11)面作为双晶的晶粒界,(-111)面及(002)面的晶粒、与(1—1—1)面及(00—2)面的晶粒处于双晶关系。此外,铝层的{111}面对构成基板2的石英的{010}面倾斜8°来取向。
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公开(公告)号:CN1130824C
公开(公告)日:2003-12-10
申请号:CN99801792.2
申请日:1999-10-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 弹性表面波元件1具有:由石英构成的基板2;由铝层构成的一对梳齿型电极3;电极连接端4;以及由与电极3为相同材料构成的一对栅格状反射器5。在构成电极3的铝层中,其结晶结构形成双晶结构,把铝的(-11-1)面及(1-11)面作为双晶的晶粒界,(-111)面及(002)面的晶粒、与(1-1-1)面及(00-2)面的晶粒处于双晶关系。此外,铝层的{111}面对构成基板2的石英的{010}面倾斜8°来取向。
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