-
公开(公告)号：CN115245054A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202180019776.6
申请日：2021-03-17
Applicant: 积水化学工业株式会社
Abstract: 照射器具具备：第1电极，其为了生成等离子体而施加电压；以及保持部件，其保持第1电极，保持部件具有第1部件以及第2部件，第1部件与第2部件接触，从而构成收纳第1电极的收纳空间，第1部件与第2部件的接触面包含与第1电极的轴线不垂直的非垂直接触面。
Search Results
1
records
(took 0.016 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
