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公开(公告)号：CN118901285A
公开(公告)日：2024-11-05
申请号：CN202380026075.4
申请日：2023-03-14
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H05H1/34
Abstract: 一种等离子体照射装置，其具有等离子体照射器(2)、供电器以及气体供给器，等离子体照射器(2)具有：框体(10)；第一盖体(20)，其具有第一电极和照射口(22)；第二盖体(30)，其具有第二电极；延长电极，其从所述第二盖体(30)朝向所述第一盖体(20)延伸，与所述第二电极连接且与所述第一电极电分离；放电部，其向所述第一电极与所述延长电极之间放电；以及整流部，其使所述等离子体生成气体沿着所述框体(10)的内表面且从所述第一电极的方向流向所述第二电极的方向。
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