公开(公告)号：CN107466366A

公开(公告)日：2017-12-12

申请号：CN201680021668.1

申请日：2016-04-20

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： J·沙利文 ,  蔡文建 ,  曹凯

IPC: G01N21/956 ,  G01N21/95 ,  G02B13/00

Abstract: 一种具有运行时间对准的光点扫描成像系统包含：光束扫描装置，其经配置以使聚焦照明光束线性地扫描跨越样品；一或多个检测器，其经定位以从所述样品接收光；及控制器，其经通信地耦合到光束扫描设备、样品载台及所述一或多个检测器。所述控制器经配置以存储第一图像、将一组驱动信号发射到所述光束扫描装置、所述样品载台或所述一或多个检测器中的至少一个；比较第二采样网格的至少一部分与第一采样网格的至少一部分以确定一或多个偏移误差；及基于所述一或多个偏移误差来调整所述组驱动信号中的至少一个驱动信号，使得所述第二采样网格与所述第一采样网格重叠。

公开(公告)号：CN107466366B

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201680021668.1

申请日：2016-04-20

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： J·沙利文 ,  蔡文建 ,  曹凯

IPC: G01N21/956 ,  G01N21/95 ,  G02B13/00

Abstract: 一种具有运行时间对准的光点扫描成像系统包含：光束扫描装置，其经配置以使聚焦照明光束线性地扫描跨越样品；一或多个检测器，其经定位以从所述样品接收光；及控制器，其经通信地耦合到光束扫描设备、样品载台及所述一或多个检测器。所述控制器经配置以存储第一图像、将一组驱动信号发射到所述光束扫描装置、所述样品载台或所述一或多个检测器中的至少一个；比较第二采样网格的至少一部分与第一采样网格的至少一部分以确定一或多个偏移误差；及基于所述一或多个偏移误差来调整所述组驱动信号中的至少一个驱动信号，使得所述第二采样网格与所述第一采样网格重叠。