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公开(公告)号:CN101186128A
公开(公告)日:2008-05-28
申请号:CN200710009719.1
申请日:2007-10-29
Applicant: 福建师范大学
Abstract: 本发明涉及一种具有高光学反射、可在室温到550℃的大气环境下使用的导电薄膜及其薄膜的制备方法。本发明所述的导电薄膜,包括基片、薄膜缓冲层、薄膜导电层、薄膜保护层,且至下而上逐层排列。导电层是金属银薄膜,厚度为150到300纳米;导电层的下方是薄膜缓冲层,厚度为10到40纳米;薄膜导电层的上方是薄膜保护层,薄膜保护层厚度为5到15纳米。其制备方法是:采用镀膜技术,先后在基片层上逐层镀上缓冲层、导电层、保护层,最后利用马弗炉进行热处理。本发明中采用金属和金属氧化物作为银薄膜的缓冲层和保护层,可以有效地抑制银薄膜在高温条件下的凝聚和结块,实现制备薄膜可以在高温环境下保持良好的导电特性和高光学反射性能。
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公开(公告)号:CN1847838A
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN200610074412.5
申请日:2006-04-07
Applicant: 福建师范大学
IPC: G01N27/12 , G01N27/407
Abstract: 本发明涉及一种基于纳米线阵列来实现气体检测的气体传感器。本发明所述的气体传感器,包括绝缘基片、下电极层、传感导电体、上电极层,其特征是连接在下电极层和上电极层之间的传感导电体是由金属或金属氧化物构成的纳米线阵列,纳米线的直径为30到800纳米,长度为微米数量级,纳米线之间的间隙为25纳米到550纳米。其制备方法是:1.下电极层的制备;2.多孔的氧化铝模板的制备;3.纳米线阵列的制备;4.上电极层的制备;5.腐蚀去除多孔的氧化铝模板。本发明中采用新型的微纳米加工技术,利用纳米线阵列作为气体传感器材料,检测气体的灵敏度高,避免了分散纳米线或操纵纳米线的困难,便于工业化批量生产。
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