公开(公告)号：CN102732845A

公开(公告)日：2012-10-17

申请号：CN201210236313.8

申请日：2012-07-10

Applicant: 福州大学

Inventor： 吴波 ,  黄超然 ,  刘海龙 ,  王敏 ,  李锋宝

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C22C19/05 ,  C22C27/06 ,  C22C1/02 ,  C22F1/10 ,  C22F1/11

Abstract: 本发明涉及一种高纯度、高成分均匀性的镍铬合金靶材及其制备方法，采用的技术方案是：基于材料科学与工艺计算模拟仿真的结果，对镍—铬系列合金靶材的熔炼、凝固、热机械加工和退火热处理工艺参数进行精密控制，本发明方法所设计和制备的镍—铬系列合金靶材，合金成分范围宽，按原子百分含量计可含5%~95%镍，含杂质≤0.0005%，及含余量的铬，可广泛应用于光电、数据存储工业、集成电路、光通讯工业等高精尖行业。

公开(公告)号：CN102732845B

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201210236313.8

申请日：2012-07-10

Applicant: 福州大学

Inventor： 吴波 ,  黄超然 ,  刘海龙 ,  王敏 ,  李锋宝

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/14 ,  C22C19/05 ,  C22C27/06 ,  C22C1/02 ,  C22F1/10 ,  C22F1/11

Abstract: 本发明涉及一种高纯度、高成分均匀性的镍铬合金靶材及其制备方法，采用的技术方案是：基于材料科学与工艺计算模拟仿真的结果，对镍—铬系列合金靶材的熔炼、凝固、热机械加工和退火热处理工艺参数进行精密控制，本发明方法所设计和制备的镍—铬系列合金靶材，合金成分范围宽，按原子百分含量计可含5%~95%镍，含杂质≤0.0005%，及含余量的铬，可广泛应用于光电、数据存储工业、集成电路、光通讯工业等高精尖行业。