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公开(公告)号：CN119737891A
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN202411972569.4
申请日：2024-12-30
Applicant: 福州大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明提出一种基于3‑D Moiré的超精密平面外旋转测量方法，所述方法基于3‑D Moiré技术，其采用的测量系统包括用于观察的相机和用于选定待测物体平面的标签；所述标签包含两个蚀刻在玻璃晶片相对两侧的周期性掩模；所述周期性掩膜为串联掩膜；所述相机采用图像平面对平面外旋转高度敏感的相机型号；当测量时，先将标签贴于待测物体平面，使产生的莫尔条纹投射至观察相机的图像平面，并使相机主点在标签处，再利用相机拍摄标签获取主点相位，基于测量系统的测量模型的标定系统内参以进行测量；所述测量模型中，待测物体平面的旋转角数据取决于图像主点处的莫尔条纹相位；本发明能明确推导出3‑D Moiré的测量模型，并且能得到更优异的测量精度。
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