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公开(公告)号：CN118667099A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202411075477.6
申请日：2024-08-07
Applicant: 福州大学
IPC: C08F293/00 , C08F8/44
Abstract: 本发明公开了一种具有10nm以下特征尺寸的离子型嵌段共聚物，其具体是先通过可逆加成‑断裂链转移聚合（RAFT）方法将第一单体甲基丙烯酸三氟乙酯（TFMA）进行聚合，然后以所得聚甲基丙烯酸三氟乙酯作为大分子链引发剂与第二单体甲基丙烯酸二乙基氨基乙酯（DEAEMA）进行共聚，随后通过季铵化反应制得离子型嵌段共聚物PTFMA‑b‑QPDEAEMA‑X（其中X表示当量数），再通过本体热退火实现其自组装。本发明制备的离子型嵌段共聚物通过含氟嵌段的引入和季铵化反应，加强了两嵌段间的不相容性，有助于微相分离结构的形成，为10 nm以下分辨率半导体光刻用嵌段共聚物提供了一种全新的技术方案。
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