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公开(公告)号：CN110749751A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201911231209.8
申请日：2019-12-05
Applicant: 福州大学
IPC: G01Q30/06
Abstract: 本发明涉及一种基于针尖盲重构的光栅原子力显微镜图像重构方法，包括以下步骤：步骤S1：利用OP玻璃表面或TGZ3光栅作为针尖表征器件来获取AFM针尖形貌的信息；步骤S2:根据得到的AFM针尖形貌信息，利用MATLAB进行尖端盲重构，得到重构的AFM针尖形状；步骤S3:根据AFM测量光栅过程中探针与样品表面的几何关系构建线宽测量模型；步骤S4:获得TGZ3光栅样品实测的表面形貌；步骤S5:根据重构的AFM针尖形状和线宽测量模型，对实测的TGZ3光栅表面形貌进行矫正，得到真实的光栅表面结构。本发明在不改变探针硬件设施的条件下，减小由探头驱动器PZT的非线性，系统的温度漂移和探头磨损引起的测量误差，有效地减少和消除AFM图像的失真，从而获得更精确的AFM图像。
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