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公开(公告)号：CN118325102A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410504083.1
申请日：2024-04-25
Applicant: 福州大学
IPC: C08G81/02 , C08G77/16 , C08G77/388 , C08F293/00 , G03F7/00
Abstract: 本发明公开了一种新型Gemini型结构的嵌段共聚物及其合成方法，本发明基于笼状寡聚倍半硅氧烷POSS的大分子引发剂合成了一系列不同链段长度的Gemini型嵌段共聚物，该聚合物可以进一步进行自组装得到纳米级有序图案，这种Gemini型的结构显著提高了嵌段共聚物的自组装能力，进一步减小了特征尺寸。本申请可以作为一种新型光刻材料，所形成的纳米级有序图案可以应用在非易失性存储器、传感器、光致发光器件、大功率器件等领域，为导向自组装光刻技术制造纳米级结构提供了策略和支持。
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