公开(公告)号：CN116412944B

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202310407692.0

申请日：2023-04-17

Applicant: 福伦瑞生科技(苏州)有限公司

Inventor： 宋鹏程 ,  杨苗 ,  宋雪霏 ,  周榘

IPC: G06F17/00 ,  G01L1/24

Abstract: 本发明涉及压力传感结构技术领域，且公开了超高灵敏度的光纤F‑P腔压力传感结构，包括单模光纤和容器，单模光纤置于容器的内部，且容器的内部盛有液体，单模光纤的底部配合有石英管，且所述石英管完全浸泡在液体中，石英管内部充入氦气，容器的底部且位于石英管的正下方设置有反射膜，液体与外界空气的接触面为液面A，液体与石英管内部的氦气的接触面为液面B。该超高灵敏度的光纤F‑P腔压力传感结构采用光纤传感，可实现微小压力变化的测量，其F‑P腔为无膜片式结构，灵敏度大大提高，并且采用了空气、液体双腔结构，相较于传统单腔结构，灵敏度有所提高，石英管内壁刻蚀成圆台状，且空气腔内气体用氦气代替空气，灵敏度有所提高。

公开(公告)号：CN116412944A

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202310407692.0

申请日：2023-04-17

Applicant: 福伦瑞生科技(苏州)有限公司

Inventor： 宋鹏程 ,  杨苗 ,  宋雪霏 ,  周榘

IPC: G01L1/24

Abstract: 本发明涉及压力传感结构技术领域，且公开了超高灵敏度的光纤F‑P腔压力传感结构，包括单模光纤和容器，单模光纤置于容器的内部，且容器的内部盛有液体，单模光纤的底部配合有石英管，且所述石英管完全浸泡在液体中，石英管内部充入氦气，容器的底部且位于石英管的正下方设置有反射膜，液体与外界空气的接触面为液面A，液体与石英管内部的氦气的接触面为液面B。该超高灵敏度的光纤F‑P腔压力传感结构采用光纤传感，可实现微小压力变化的测量，其F‑P腔为无膜片式结构，灵敏度大大提高，并且采用了空气、液体双腔结构，相较于传统单腔结构，灵敏度有所提高，石英管内壁刻蚀成圆台状，且空气腔内气体用氦气代替空气，灵敏度有所提高。