公开(公告)号：CN100426484C

公开(公告)日：2008-10-15

申请号：CN200480032167.0

申请日：2004-11-04

Applicant: 神钢电机株式会社

Inventor： 北泽保良

IPC: H01L21/68 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明涉及基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置，可将基板搬入搬出到基板箱的任意架上。在搬出在构成基板箱(1C)的箱主体(1)上被收纳于将以赋予张力的状态安装的多个金属丝(4)作为架板形成的各架(1R)上的基板(1G)时，使构成一对基板升降单元(1U1)的各基板升降臂(14)进入收纳有所述基板(G)的架(1R)的正下方的架(1R’)上，并使安装于所述各基板升降臂(14)上面的空气浮起单元(21)工作而喷出压力空气，从而将该基板(1G)在使其浮起的状态下引出。

公开(公告)号：CN101188206A

公开(公告)日：2008-05-28

申请号：CN200710197181.1

申请日：2004-11-04

Applicant: 神钢电机株式会社

Inventor： 北泽保良

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/05 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

Abstract: 本发明涉及基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置，可将基板搬入搬出到基板箱的任意架上。在搬出在构成基板箱(1C)的箱主体(1)上被收纳于将以赋予张力的状态安装的多个金属丝(4)作为架板形成的各架(1R)上的基板(1G)时，使构成一对基板升降单元(1U1)的各基板升降臂(14)进入收纳有所述基板(G)的架(1R)的正下方的架(1R’)上，并使安装于所述各基板升降臂(14)上面的空气浮起单元(21)工作而喷出压力空气，从而将该基板(1G)在使其浮起的状态下引出。

公开(公告)号：CN1875470A

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200480032167.0

申请日：2004-11-04

Applicant: 神钢电机株式会社

Inventor： 北泽保良

IPC: H01L21/68 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明涉及基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置，可将基板搬入搬出到基板箱的任意架上。在搬出在构成基板箱(1C)的箱主体(1)上被收纳于将以赋予张力的状态安装的多个金属丝(4)作为架板形成的各架(1R)上的基板(1G)时，使构成一对基板升降单元(1U1)的各基板升降臂(14)进入收纳有所述基板(G)的架(1R)的正下方的架(1R’)上，并使安装于所述各基板升降臂(14)上面的空气浮起单元(21)工作而喷出压力空气，从而将该基板(1G)在使其浮起的状态下引出。

公开(公告)号：CN1600658B

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN200410090520.2

申请日：2004-08-18

Applicant: 神钢电机株式会社

Inventor： 北泽保良

IPC: B65G49/00

Abstract: 一种在存放衬底(A)的存放容器(10)搬入或搬出衬底(A)的衬底搬进搬出装置(1)。其具备载置衬底(A)的载置台(31)、设置在载置台(31)上在衬底(A)的搬进搬出方向可移动的保持衬底(A)的保持部(32)、在载置台(31)上在搬进搬出方向可移动地支承在保持部(32)上保持的衬底(A)的滚筒(37)。

公开(公告)号：CN1600658A

公开(公告)日：2005-03-30

申请号：CN200410090520.2

申请日：2004-08-18

Applicant: 神钢电机株式会社

Inventor： 北泽保良

IPC: B65G49/00

Abstract: 一种在存放衬底(A)的存放容器(10)搬入或搬出衬底(A)的衬底搬进搬出装置(1)。其具备载置衬底(A)的载置台(31)、设置在载置台(31)上在衬底(A)的搬进搬出方向可移动的保持衬底(A)的保持部(32)、在载置台(31)上在搬进搬出方向可移动地支承在保持部(32)上保持的衬底(A)的滚筒(37)。

公开(公告)号：CN100568480C

公开(公告)日：2009-12-09

申请号：CN200710197181.1

申请日：2004-11-04

Applicant: 神钢电机株式会社

Inventor： 北泽保良

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/05 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

Abstract: 本发明涉及基板搬入搬出装置、基板搬运方法及其装置，可将基板搬入搬出到基板箱的任意架上。在搬出在构成基板箱(1C)的箱主体(1)上被收纳于将以赋予张力的状态安装的多个金属丝(4)作为架板形成的各架(1R)上的基板(1G)时，使构成一对基板升降单元(1U1)的各基板升降臂(14)进入收纳有所述基板(G)的架(1R)的正下方的架(1R’)上，并使安装于所述各基板升降臂(14)上面的空气浮起单元(21)工作而喷出压力空气，从而将该基板(1G)在使其浮起的状态下引出。

公开(公告)号：CN101180229A

公开(公告)日：2008-05-14

申请号：CN200680018107.2

申请日：2006-06-20

Applicant: 神钢电机株式会社

Inventor： 北泽保良

IPC: B65G49/06 ,  H01L21/677

CPC classification number: B65G49/064 ,  B65G49/068 ,  H01L21/67778

Abstract: 本发明涉及一种收纳工件即基板(W)的基板收纳装置(1)，这样的基板收纳装置(1)具有：将基板(W)按搬入的顺序从上收纳的第一基板箱(10)、将第一基板箱(10)内收纳的基板(W)从下按顺序搬出的搬出输送机(3)、将用搬出输送机(3)搬运的基板(W)从上按顺序收纳的第二基板箱(20)。在将基板(W)从第一基板箱(10)移载到第二基板箱(20)时，基板(W)的配置顺序逆转，因此，在将基板(W)从第二基板箱(20)搬出时，从最先搬入的基板(W)搬出。

公开(公告)号：CN1817767A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200610004301.7

申请日：2006-02-06

Applicant: 神钢电机株式会社

Inventor： 铃木健介 ,  北泽保良

IPC: B65G51/03 ,  B65G49/06 ,  B65G49/07

Abstract: 一种空气浮起运送装置，从配置在平面基板的下方的空气浮起单元喷出空气，将平面基板浮起，并由送给机构向前方移送，其中，位于上述平面基板的移送方向的前端的空气浮起单元的下游端附近设置增大上述平面基板的浮起量的机构。