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公开(公告)号：CN307592158S
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202230320406.3
申请日：2022-05-27
Applicant: 磐柔(厦门)工业智能有限公司
Abstract: 1.本外观设计产品的名称：晶圆表面微米级缺陷自动检测平台。
2.本外观设计产品的用途：用于自动检测晶圆表面的缺陷并定位。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
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