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公开(公告)号：CN113359385B
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202110709880.X
申请日：2021-06-25
Applicant: 矽万(上海)半导体科技有限公司 , 武汉大学
Abstract: 本发明提供了一种基于OPC模型的无掩模光刻优化方法，包括如下步骤：步骤S1、根据光刻胶曝光数据以及光刻胶化学反应函数获得优化的光刻胶函数模型；步骤S2、根据光刻机参数、目标图案以及所述光刻胶函数模型，构建自适应成像模型；步骤S3、将所述目标图案的数值作为晶圆电路板图的像素化数值，来构建第一代价函数和约束条件，并根据所述约束条件对所述目标图案的曝光剂量分布数值进行更新；以及步骤S4、将反向曝光能量分布的数值作为曝光能量分布数值，来构建第二代价函数和约束条件，并根据所述约束条件对所述目标图案的曝光剂量分布数值进行进一步更新。本发明的优化方法计算量小、设置简单以及可根据需要对全局曝光点进行并行优化。
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公开(公告)号：CN113359385A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202110709880.X
申请日：2021-06-25
Applicant: 矽万(上海)半导体科技有限公司 , 武汉大学
Abstract: 本发明提供了一种基于OPC模型的无掩模光刻优化方法，包括如下步骤：步骤S1、根据光刻胶曝光数据以及光刻胶化学反应函数获得优化的光刻胶函数模型；步骤S2、根据光刻机参数、目标图案以及所述光刻胶函数模型，构建自适应成像模型；步骤S3、将所述目标图案的数值作为晶圆电路板图的像素化数值，来构建第一代价函数和约束条件，并根据所述约束条件对所述目标图案的曝光剂量分布数值进行更新；以及步骤S4、将反向曝光能量分布的数值作为曝光能量分布数值，来构建第二代价函数和约束条件，并根据所述约束条件对所述目标图案的曝光剂量分布数值进行进一步更新。本发明的优化方法计算量小、设置简单以及可根据需要对全局曝光点进行并行优化。
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公开(公告)号：CN119805633A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202510121835.0
申请日：2025-01-26
Applicant: 矽万(上海)半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于菲涅尔透镜化微图文阵列结构的成像薄膜，其特征在于，包括：透明薄膜基底；复合结构微聚焦元件阵列层，设置于所述透明薄膜基底的一个表面，包括多个复合结构微聚焦元件单元，每个复合结构微聚焦元件单元通过将微图文阵列进行菲涅尔透镜化得到，从而形成为菲涅尔透镜化微图文阵列结构，相邻的所述复合结构微聚焦元件单元之间具有紫外胶层，所述紫外胶层高于所述菲涅尔透镜化微图文阵列结构；以及反射膜层，覆盖于所述菲涅尔透镜化微图文阵列结构表面。本发明中的成像薄膜，可视角大，厚度薄，菲涅尔微透镜阵列与微图文阵列形成复合结构，优化了工艺流程，降低了生产成本，可以实现具有超薄柔性特性的薄膜型成像器件。
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公开(公告)号：CN117031743A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311155870.1
申请日：2023-09-07
Applicant: 矽万(上海)半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种占空比可调的微透镜阵列设计及制备方法，所述方法包括以下步骤：步骤S1：设计单个微透镜结构；步骤S2：根据占空比要求计算所述单个微透镜结构之间的排列周期；步骤S3：根据所述排列周期将所述单个微透镜结构复制拼接成微透镜阵列结构；步骤S4：采用3D激光直写光刻技术将所述微透镜阵列结构制备到光刻胶层上，得到光刻胶复制件；步骤S5：基于所述光刻胶复制件制备得到PDMS模具；以及步骤S6：将所述PDMS模具的结构特征转印至PDMS柔性基底上，制备得到符合占空比要求的微透镜阵列。本发明方法可以实现10％‑100％占空比的微透镜阵列设计及制造，可以为微透镜应用领域带来重要的收益，并且极大地提高微透镜设计领域的便捷性。
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公开(公告)号：CN114280706A
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202111681529.0
申请日：2021-12-29
Applicant: 矽万(上海)半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提出了一种基于UV激光直写光刻的双胶合微阵列透镜的制备方法，包括以下步骤：步骤a：设计好构成双胶合微透镜的单个微透镜的尺寸，将每个所述单个微透镜分解为2个透镜，每个所述透镜的一面均为平面；步骤b：将分解后的每个透镜分别形成为微透镜阵列组，并在每个所述微透镜阵列组旁边形成一组或两组对准标记，并制作相应的灰度图；步骤c：根据所述灰度图基于UV激光直写光刻技术制作微透镜阵列组和相应的对准标记；以及步骤d：通过步骤c中制作好的所述对准标记将制作好的所述微透镜阵列组进行对准，并组成双胶合微阵列透镜。本发明方法的技术原理简单可行。另外，本发明方法对微阵列透镜进行拼接胶合，可有效减小透镜像的像差及色差。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119964452A
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202510302428.X
申请日：2025-03-14
Applicant: 矽万(上海)半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种菲涅尔透镜化微图文和噪声复合结构成像薄膜，包括：透明薄膜基底；复合结构微聚焦元件阵列层，设置于所述透明薄膜基底的一个表面，包括多个微聚焦元件单元，所述多个微聚焦元件单元通过将微图文阵列进行菲涅尔透镜化得到，从而形成为菲涅尔透镜化微图文阵列结构，相邻的所述微聚焦元件单元之间具有噪声结构；以及，反射膜层，覆盖于所述菲涅尔透镜化微图文阵列结构表面，所述复合结构微聚焦元件阵列层通过下述方式得到：将所述微图文阵列与菲涅尔微透镜阵列进行对准后，在所述微图文阵列与菲涅尔透镜重叠的区域，保留菲涅尔透镜阵列结构，在所述微图文阵列与菲涅尔透镜非重叠的区域，填充噪声结构，形成复合微纳结构。
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公开(公告)号：CN119840327A
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202510098756.2
申请日：2025-01-22
Applicant: 矽万(上海)半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有变色效果的高精度3D浮雕图案制备方法，所述方法包括以下步骤：步骤1，采用清洗液清洁玻璃基底表面；步骤2，将光刻胶旋涂至清洁后的所述玻璃基底表面；步骤3，将低频锯齿光栅和高频闪耀光栅组成灰度图，并将所述灰度图导入激光直写设备；步骤4，采用所述激光直写设备刻蚀所述光刻胶；步骤5，将刻蚀后的样品显影；以及步骤6，在显影后的样品表面镀金属薄膜。本发明制备的变色3D浮雕图案，其微纳米结构形貌精度高，立体效果明显，以及在不同视角下观察具有变色效果，且改变颜色均匀。本发明的制备方法对环境无污染隐患，为绿色制备方法。
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公开(公告)号：CN119667832A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411847038.2
申请日：2024-12-16
Applicant: 矽万(上海)半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有疏水功能的辐射制冷薄膜，包括：光学微结构以及多级疏水结构，所述光学微结构包括微透镜阵列，所述多级疏水结构包括多个柱体，所述柱体位于所述微透镜阵列中的每个微透镜的周围，所述多级疏水结构高于所述光学微结构，以确保气液界面高度高于所述光学微结构的高度。所述柱体包括第一柱体和所述第一柱体顶部的多个第二柱体，所述第二柱体的尺寸小于所述第一柱体，所述第二柱体均匀地分布在所述第一柱体的顶部边缘位置。本发明的一种具有疏水功能的辐射制冷薄膜，在表面覆盖水分的时候也能实现制冷功能，具有良好的防水疏水功能，并且能够保护微结构的光学功能。
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公开(公告)号：CN114280706B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202111681529.0
申请日：2021-12-29
Applicant: 矽万(上海)半导体科技有限公司
Abstract: 本发明提出了一种基于UV激光直写光刻的双胶合微阵列透镜的制备方法，包括以下步骤：步骤a：设计好构成双胶合微透镜的单个微透镜的尺寸，将每个所述单个微透镜分解为2个透镜，每个所述透镜的一面均为平面；步骤b：将分解后的每个透镜分别形成为微透镜阵列组，并在每个所述微透镜阵列组旁边形成一组或两组对准标记，并制作相应的灰度图；步骤c：根据所述灰度图基于UV激光直写光刻技术制作微透镜阵列组和相应的对准标记；以及步骤d：通过步骤c中制作好的所述对准标记将制作好的所述微透镜阵列组进行对准，并组成双胶合微阵列透镜。本发明方法的技术原理简单可行。另外，本发明方法对微阵列透镜进行拼接胶合，可有效减小透镜像的像差及色差。
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公开(公告)号：CN119479506A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411735339.6
申请日：2024-11-29
Applicant: 矽万(上海)半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种具有微图文阵列凹槽的菲涅尔微透镜阵列结构成像薄膜，包括：透明薄膜基底；复合型微聚焦元件阵列层，由多个复合型微聚焦元件单元组成，设置于所述透明薄膜基底的一个表面；所述复合型微聚焦元件阵列层构造为：在菲涅尔微透镜阵列表面，叠加微图文阵列进行逻辑处理，形成具有微图文阵列凹槽的菲涅尔微透镜阵列结构；以及反射膜层，覆盖于所述复合型微聚焦元件阵列层表面。本发明中的成像薄膜可视角大，厚度薄，菲涅尔微透镜阵列与微图文阵列凹槽形成复合结构，优化了工艺流程，降低了生产成本，可以实现具有超薄柔性特性的薄膜型成像器件。本发明的成像薄膜通过复合型微聚焦元件阵列层、反射膜层共同作用，提供了多视角、高对比度、黑色效果的动态图像。
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