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公开(公告)号:CN102060258A
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN201010568507.9
申请日:2006-02-23
Applicant: 皮克斯特罗尼克斯公司
CPC classification number: G09G3/3433 , G02B26/02 , G09G3/3473 , G09G2300/0842 , G09G2310/0262
Abstract: 披露了一种微电子机械装置。该微电子机械装置包括:第一部件,其限定平面;梁,其包括悬挂在所述第一部件上方的至少一个非晶硅层,其中所述梁在垂直于所限定的平面方向上的尺寸是所述梁在所限定的平面内的至少一个尺寸的至少1.4倍。
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