公开(公告)号：CN1918513B

公开(公告)日：2011-02-02

申请号：CN200580004179.7

申请日：2005-02-02

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： P·迪尔克森 ,  T·斯蒂芬

IPC: G03F1/00

CPC classification number: G03F1/84 ,  G03F1/44

Abstract: 本发明涉及物体的光学检查装置，包括：用于产生真实物体的实际图像的光学成像系统(5)、就光学成像系统的已知像差系数而言用于计算所需形状的物体估算图像的计算单元(12)、用于检测实际图像与计算单元(12)计算出的图像之间的差异的图像分析单元(13)。

公开(公告)号：CN1918513A

公开(公告)日：2007-02-21

申请号：CN200580004179.7

申请日：2005-02-02

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： P·迪尔克森 ,  T·斯蒂芬

IPC: G03F1/00

CPC classification number: G03F1/84 ,  G03F1/44

Abstract: 本发明涉及物体的光学检查装置，包括：用于产生真实物体的实际图像的光学成像系统(5)、就光学成像系统的已知象差系数而言用于计算所需形状的物体估算图像的计算单元(12)、用于检测实际图像与计算单元(12)计算出的图像之间的差异的图像分析单元(13)。