公开(公告)号：CN103370764B

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201180060230.1

申请日：2011-12-14

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： K·C·克拉夫特 ,  M-W·P·徐 ,  M·何 ,  G·J·卡尔森

IPC: H01J35/10 ,  H01J9/02

CPC classification number: H01J35/105 ,  H01J9/02 ,  H01J35/08 ,  H01J35/10 ,  H01J35/108 ,  H01J35/12 ,  H01J2235/081 ,  H01J2235/084

Abstract: 通过建立诸如碳加强的碳复合材料之类的碳衬底或者其它陶瓷衬底（50）来形成阳极（30）。在陶瓷衬底上电镀可延展耐熔金属，以便至少在焦点轨迹部分（36）上形成耐熔金属碳化物层52）以及可延展耐熔金属层（54）。在可延展耐熔金属层上真空等离子体喷涂高-Z耐熔金属，以便至少在所述焦点轨迹部分上形成真空等离子体喷涂的高-Z耐熔金属层（56）。

公开(公告)号：CN103370764A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201180060230.1

申请日：2011-12-14

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： K·C·克拉夫特 ,  M-W·P·徐 ,  M·何 ,  G·J·卡尔森

IPC: H01J35/10 ,  H01J9/02

CPC classification number: H01J35/105 ,  H01J9/02 ,  H01J35/08 ,  H01J35/10 ,  H01J35/108 ,  H01J35/12 ,  H01J2235/081 ,  H01J2235/084

Abstract: 通过建立诸如碳加强的碳复合材料之类的碳衬底或者其它陶瓷衬底（50）来形成阳极（30）。在陶瓷衬底上电镀可延展耐熔金属，以便至少在焦点轨迹部分（36）上形成耐熔金属碳化物层（52）以及可延展耐熔金属层（54）。在可延展耐熔金属层上真空等离子体喷涂高-Z耐熔金属，以便至少在所述焦点轨迹部分上形成真空等离子体喷涂的高-Z耐熔金属层（56）。