用于电介质阻挡放电灯的灯座

    公开(公告)号:CN101128902B

    公开(公告)日:2010-10-13

    申请号:CN200680005658.5

    申请日:2006-02-14

    CPC classification number: H01J65/046 C02F1/32 H01J5/48

    Abstract: 一种用于电介质阻挡放电(DBD)灯(1)的灯座,这种灯座尤其用在治疗系统或反应器或外壳中或用在照射设备中,以通过DBD灯(1)放射介质,如流体和/或气体和/或固态材料。这种灯座基本上包括位于灯(1)的轴向端部的两个端盖(21、31)以及内电极(23、24;33、34),这种内电极(23、24;33、34)具有螺纹件(SF)和进入内体积(14)中的轴向钻孔(25、35),这种螺纹件(SF)用于通过两个端盖(21、31)将轴向压力施加到灯(1)的两个轴向端部上,轴向钻孔(25、35)用于尤其引导冷却介质并用于电气接触灯(1)的内管(II)。这种灯座具有相当简单的结构并易于组装。而且,可对灯长度的更大公差进行补偿,并实现了内体积(14)相对于灯(1)的外部的可靠密封。

    具有旋转箔陷阱和驱动组件的碎片减缓装置

    公开(公告)号:CN101960386A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200980106737.9

    申请日:2009-02-25

    CPC classification number: G03F7/70916 G03F7/70808

    Abstract: 本发明涉及一种用于与辐射源(2)一起使用的碎片减缓装置,该辐射源生成光学辐射,特别是超紫外辐射(EUV)和/或软x射线,并且发射会沉积在所述辐射源(2)的辐射路径内的光学表面上的不期望的物质和/或颗粒;并且本发明涉及相应的驱动组件。该碎片减缓装置包含至少一个旋转箔陷阱(5)和该驱动组件。驱动组件包含驱动电机(14)和驱动轴(10),旋转箔陷阱(5)固定到该驱动轴。驱动电机(14)和支撑驱动轴(10)的轴承(13)封在壳体(20)内,该壳体具有用于驱动轴(10)的开孔和用于密封气体的至少一个出口开口(21)。出口开口(21)可连接到泵以用于抽出该密封气体。开孔设计成限定驱动轴(10)和壳体(20)之间的间隙(23),其中所述间隙(23)连接到供应管(19),以用于通过所述间隙(23)将密封气体供应到所述壳体(20)内。所提出的碎片减缓装置允许使用常规的驱动电机和施油或润滑的轴承,而没有污染在其中使用碎片减缓装置的真空腔的风险。这导致驱动组件增加使用寿命。

    用于电介质阻挡放电灯的灯座

    公开(公告)号:CN101128902A

    公开(公告)日:2008-02-20

    申请号:CN200680005658.5

    申请日:2006-02-14

    CPC classification number: H01J65/046 C02F1/32 H01J5/48

    Abstract: 一种用于电介质阻挡放电(DBD)灯(1)的灯座,这种灯座尤其用在治疗系统或反应器或外壳中或用在照射设备中,以通过DBD灯(1)放射介质,如流体和/或气体和/或固态材料。这种灯座基本上包括位于灯(1)的轴向端部的两个端盖(21、31)以及内电极(23、24;33、34),这种内电极(23、24;33、34)具有螺纹件(SF)和进入内体积(14)中的轴向钻孔(25、35),这种螺纹件(SF)用于通过两个端盖(21、31)将轴向压力施加到灯(1)的两个轴向端部上,轴向钻孔(25、35)用于尤其引导冷却介质并用于电气接触灯(1)的内管(II)。这种灯座具有相当简单的结构并易于组装。而且,可对灯长度的更大公差进行补偿,并实现了内体积(14)相对于灯(1)的外部的可靠密封。

    具有旋转箔陷阱和驱动组件的碎片减缓装置

    公开(公告)号:CN101960386B

    公开(公告)日:2013-02-06

    申请号:CN200980106737.9

    申请日:2009-02-25

    CPC classification number: G03F7/70916 G03F7/70808

    Abstract: 本发明涉及一种用于与辐射源(2)一起使用的碎片减缓装置,该辐射源生成光学辐射,特别是超紫外辐射(EUV)和/或软x射线,并且发射会沉积在所述辐射源(2)的辐射路径内的光学表面上的不期望的物质和/或颗粒;并且本发明涉及相应的驱动组件。该碎片减缓装置包含至少一个旋转箔陷阱(5)和该驱动组件。驱动组件包含驱动电机(14)和驱动轴(10),旋转箔陷阱(5)固定到该驱动轴。驱动电机(14)和支撑驱动轴(10)的轴承(13)封在壳体(20)内,该壳体具有用于驱动轴(10)的开孔和用于密封气体的至少一个出口开口(21)。出口开口(21)可连接到泵以用于抽出该密封气体。开孔设计成限定驱动轴(10)和壳体(20)之间的间隙(23),其中所述间隙(23)连接到供应管(19),以用于通过所述间隙(23)将密封气体供应到所述壳体(20)内。所提出的碎片减缓装置允许使用常规的驱动电机和施油或润滑的轴承,而没有污染在其中使用碎片减缓装置的真空腔的风险。这导致驱动组件增加的使用寿命。

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