公开(公告)号：CN1649678A

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：CN03809931.4

申请日：2003-04-28

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： J·D·弗拉塞 ,  M·K·克里 ,  G·施米茨

IPC: B06B1/06 ,  H01L41/08 ,  H04R17/00

CPC classification number: H01L27/20 ,  B06B1/0688 ,  G10K13/00

Abstract: 本发明涉及用于微制作的薄膜超声换能器的结构，以及制造此结构的方法。在一个实施方案中，换能器包括具有压电材料的平坦部件，和设置在平坦部件上且耦合到压电材料的间隔开的电极，用来将电场施加到此层，以及连接到电极的吸声背衬部件。在另一实施方案中，换能器包括具有邻接半导体材料的压电材料的平坦部件，此半导体材料具有单片地形成在层中且耦合到压电材料的有源电路。在另一个实施方案中，换能器包括具有压电材料的平坦部件，以及具有单片形成的有源电路的半导体材料邻接层的吸声背衬部件，此有源电路被耦合到电极。

公开(公告)号：CN100438992C

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN03809931.4

申请日：2003-04-28

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： J·D·弗拉塞 ,  M·K·克里 ,  G·施米茨

IPC: B06B1/06 ,  H01L41/08 ,  H04R17/00

CPC classification number: H01L27/20 ,  B06B1/0688 ,  G10K13/00

Abstract: 本发明涉及用于微制作的薄膜超声换能器的结构，以及制造此结构的方法。在一个实施方案中，换能器包括具有压电材料的平坦部件，和设置在平坦部件上且耦合到压电材料的间隔开的电极，用来将电场施加到此层，以及连接到电极的吸声背衬部件。在另一实施方案中，换能器包括具有邻接半导体材料的压电材料的平坦部件，此半导体材料具有单片地形成在层中且耦合到压电材料的有源电路。在另一个实施方案中，换能器包括具有压电材料的平坦部件，以及具有单片形成的有源电路的半导体材料邻接层的吸声背衬部件，此有源电路被耦合到电极。