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公开(公告)号：CN109951942A
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201910348396.1
申请日：2019-04-28
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种尘埃等离子体生成系统，属于尘埃等离子体领域。该尘埃等离子体生成系统包括尘埃等离子体射流装置；尘埃等离子体射流装置分别与用于将其内部气体喷射至尘埃等离子体射流装置的气体装置、用于电离进入尘埃等离子体射流装置内的气体的电离装置、用于将其内部尘埃喷出与流经尘埃等离子体射流装置的电离后的气体混合而形成尘埃等离子体的尘埃装置及用于对尘埃等离子体进行电子密度检测的密度检测装置连接；气体装置、电离装置、尘埃装置和密度检测装置分别与控制装置连接。
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公开(公告)号：CN109600900A
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201910062024.2
申请日：2019-01-23
Applicant: 电子科技大学
IPC: H05H1/34
Abstract: 本发明公开了一种等离子体射流阵列非均匀等离子体产生装置，其包括射流装置，射流装置包括气体导管，气体导管前侧设置有石英管，石英管内布置有高压电极，高压电极与电源装置连接；石英管的前侧设置有诊断装置，诊断装置包括探针，探针的后部分别与探针控制装置和测量传感器连接；气体导管与气体装置连接，气体装置、电源装置、诊断装置分别与控制装置连接，控制装置包括控制器。本发明能够解决现有技术中生成的等离子体电子密度以及分布难以控制的问题，结构简单、效率高、可靠性强。
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公开(公告)号：CN109951942B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201910348396.1
申请日：2019-04-28
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种尘埃等离子体生成系统，属于尘埃等离子体领域。该尘埃等离子体生成系统包括尘埃等离子体射流装置；尘埃等离子体射流装置分别与用于将其内部气体喷射至尘埃等离子体射流装置的气体装置、用于电离进入尘埃等离子体射流装置内的气体的电离装置、用于将其内部尘埃喷出与流经尘埃等离子体射流装置的电离后的气体混合而形成尘埃等离子体的尘埃装置及用于对尘埃等离子体进行电子密度检测的密度检测装置连接；气体装置、电离装置、尘埃装置和密度检测装置分别与控制装置连接。
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