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公开(公告)号：CN113098418A
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN202110366631.5
申请日：2021-04-06
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种面向无线传感的微型圆盘谐振器及其加工方法，本发明的微型圆盘谐振器包括SOI基底，以及集成在SOI基底上的平面螺旋电感和圆盘谐振体；所述圆盘谐振体与平面螺旋电感耦合连接，使得所述圆盘谐振体的频率信息通过互感效应输出到外部检测电路，实现无线传输。本发明通过在同一硅片上集成平面螺旋电感与圆盘型压电谐振器，使得圆盘谐振器的频率信息通过互感效应输出到外部检测电路，通过外部电路无线读取圆盘谐振器的频率信息的变化来实现监测被测物质量的目的，进而实现该器件无线传感的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112653408A
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN202011449517.0
申请日：2020-12-11
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了工作频率可实时微调的TPoS谐振器及其加工方法，涉及射频微机电系统技术领域，解决温度漂移对谐振器工作频率产生负面影响的问题。本发明包括双端固支梁(9)直接与SOI基底(1)连接，通过连接梁(10)与带电掺杂硅悬浮平台(11)连接，双端固支梁(9)的顶部设置有4×2的电极阵列，通过对应的金属引线分别与正极性电极盘(8)和负极性电极盘(7)电气连接。本发明旨在减小谐振器频率对加工工艺误差的敏感度，降低加工成本，本发明实现工作频率可实时调整的谐振器。
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公开(公告)号：CN113098418B
公开(公告)日：2022-11-25
申请号：CN202110366631.5
申请日：2021-04-06
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种面向无线传感的微型圆盘谐振器及其加工方法，本发明的微型圆盘谐振器包括SOI基底，以及集成在SOI基底上的平面螺旋电感和圆盘谐振体；所述圆盘谐振体与平面螺旋电感耦合连接，使得所述圆盘谐振体的频率信息通过互感效应输出到外部检测电路，实现无线传输。本发明通过在同一硅片上集成平面螺旋电感与圆盘型压电谐振器，使得圆盘谐振器的频率信息通过互感效应输出到外部检测电路，通过外部电路无线读取圆盘谐振器的频率信息的变化来实现监测被测物质量的目的，进而实现该器件无线传感的目的。
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公开(公告)号：CN112653408B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202011449517.0
申请日：2020-12-11
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了工作频率可实时微调的TPoS谐振器及其加工方法，涉及射频微机电系统技术领域，解决温度漂移对谐振器工作频率产生负面影响的问题。本发明包括双端固支梁(9)直接与SOI基底(1)连接，通过连接梁(10)与带电掺杂硅悬浮平台(11)连接，双端固支梁(9)的顶部设置有4×2的电极阵列，通过对应的金属引线分别与正极性电极盘(8)和负极性电极盘(7)电气连接。本发明旨在减小谐振器频率对加工工艺误差的敏感度，降低加工成本，本发明实现工作频率可实时调整的谐振器。
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公开(公告)号：CN112751403B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202110012756.8
申请日：2021-01-06
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了基于最大功率检测的脉冲能源电源电路和复合电源电路及系统，整流电路：对脉冲能源装置输出的电源进行整流；最大功率储能电路：采用与脉冲能源装置阻抗匹配的一级储能器件连接于整流电路的整流后侧，用于对连续多周期脉冲进行蓄电能、并在蓄电能达到最大输出功率时、受控后释放蓄电能到供电储能电路；采样电路N：用于对最大功率储能电路进行采样后为控制电路N提供采样信号；基准电源：用于为控制电路N提供基准信号和供电电源；控制电路N：用于根据采样信号和基准信号对开关电路N进行控制；开关电路N：用于控制供电储能电路N接地回路的导通或断开，供电储能电路N：用于作为负载的供能电源。
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公开(公告)号：CN112751403A
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202110012756.8
申请日：2021-01-06
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了基于最大功率检测的脉冲能源电源电路和复合电源电路及系统，整流电路：对脉冲能源装置输出的电源进行整流；最大功率储能电路：采用与脉冲能源装置阻抗匹配的一级储能器件连接于整流电路的整流后侧，用于对连续多周期脉冲进行蓄电能、并在蓄电能达到最大输出功率时、受控后释放蓄电能到供电储能电路；采样电路N：用于对最大功率储能电路进行采样后为控制电路N提供采样信号；基准电源：用于为控制电路N提供基准信号和供电电源；控制电路N：用于根据采样信号和基准信号对开关电路N进行控制；开关电路N：用于控制供电储能电路N接地回路的导通或断开，供电储能电路N：用于作为负载的供能电源。
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