公开(公告)号：CN114157166A

公开(公告)日：2022-03-08

申请号：CN202111511562.9

申请日：2021-12-06

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 王海时 ,  李珂 ,  陈开鑫

IPC: H02M3/337 ,  H02M1/088 ,  H02M1/44

Abstract: 本发明涉及光波导技术领域，公开了用于提升衍射性光波导曝光电子束场强的电路，包括依次电相连的低压变换模块、高压并联模块，所述低压变换模块的输入端为连接低压信号的引脚，所述低压变换模块的输出端为输出N路中压信号的引脚，所述高压并联模块包括N个相互并联的高压子模块，所述高压子模块的输出端为输出10KV～25KV高压信号的引脚，相邻的高压子模块之间连接有延时模块；其中，低压信号的电压为18V～36V，中压信号的电压为390V～410V，N为整数且N≥2。本发明解决了现有技术存在的提升场强效果不佳、曝光效果不佳等问题。

公开(公告)号：CN216437038U

公开(公告)日：2022-05-03

申请号：CN202123044099.X

申请日：2021-12-06

Applicant: 电子科技大学

Inventor： 王海时 ,  李珂

IPC: H02M1/00 ,  H02M3/337

Abstract: 本实用新型公开了具备隔离功能的光波导曝光功率提升电路，包括依次电相连的电子束高压产生模块、电源隔离模块。本实用新型解决了现有技术存在的无电压隔离、容易导致安全事故等问题。