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公开(公告)号：CN114113691A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111401750.6
申请日：2021-11-24
Applicant: 电子科技大学 , 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明公开了一种可实现校准和去嵌入技术的波导端口测试夹具，包括结构相同的第一测试夹具和第二测试夹具，第一测试夹具和第二测试夹具的上表面和一个侧面上分别设有法兰盘，每个测试夹具上表面和侧面的法兰盘通过测试夹具内部的L型波导连接；第一测试夹具和第二测试夹具的法兰盘用于连接矢量网络分析仪或被测件。本发明将校准和去嵌入应用到波导端口测试夹具，通过校准的方法将测试端面移动到被测件的端面，或者通过去嵌入的方法去掉夹具的影响，就可以得到被测件的真实测试结果。同时将波导端口测试夹具分为两个部分，同一组夹具可应用到处于同一平面不同位置的波导端口被测件。
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公开(公告)号：CN104795620B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201510166280.8
申请日：2015-04-10
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P11/00
Abstract: 本发明提供了一种太赫兹波导无源器件的制造方法，包括以下步骤：S1、备片；S2、热氧化；S3、脱水烘加打底膜；S4、涂光刻胶；S5、将光刻胶中的溶剂含量降低到4％～7％；S6、将光刻掩膜版与硅晶圆对准；S7、采用扫描步进投影曝光；S8、中烘；S9、用显影液溶解掉曝光区域的光刻胶；S10、完全蒸发光刻胶的溶剂；S11、镜检；S12、对光刻掩模版并未覆盖的硅晶圆部分进行深反应离子刻蚀；S13、去胶；S14、金属化；S15、将两片硅晶圆进行键合；S16、切割波导无源器件单元；S17、端面金属化。本发明制造的器件具有工作频率高、介电损耗和辐射损耗小、易于制造和通用性强等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104201454A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410376606.5
申请日：2014-08-01
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P5/18
Abstract: 本发明公开了一种LTCC小型化微波无源器件。包括介质层和介质层间的金属层，其中，介质层包括从上到下依次排列的第一微带介质层、第二微带介质层、第三微带介质层和第一状线介质层、第二状线介质层、第三状线介质层、第四状线介质层、第五状线介质层、第六带状线介质层；金属层包括第一微带介质层上的微带线、第三微带介质层和第一带状线介质层间的第一接地面、第三和第四带状线介质层间的带状线、第六层带状线介质层下的第二接地面。本发明的有益效果是：本发明的LTCC小型化微波无源器件采用了多层布线方案，在同一工作频率下，减小了电路尺寸和重量，有效解决了传输线重叠的问题，减少了寄生参量，结构简单且性能较好。
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公开(公告)号：CN104183896A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410392045.8
申请日：2014-08-11
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P5/16
Abstract: 本发明公开了一种适用于太赫兹频段的四端口器件测试装置。其包括太赫兹分支波导功分器，所述太赫兹分支波导功分器的波导腔包括主波导腔和副波导腔，所述主波导腔和副波导腔相互平行且都呈长方体结构，所述主波导腔和副波导腔之间还具有呈长方体结构的N个分支波导腔，所述波导腔具体包括直耦合测试结构波导腔、平行耦合测试结构波导腔和隔离度测试结构波导腔三种测试结构波导腔。本发明的有益效果是：本发明的各测试端口直波导长度显著减短，器件趋于小型化，有效解决了直波导过长而带来巨大损耗的问题，具有低插损，功率容量大等特点，更为重要的是易于对器件性能进行测试。
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公开(公告)号：CN104795620A
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201510166280.8
申请日：2015-04-10
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P11/00
Abstract: 本发明提供了一种太赫兹波导无源器件的制造方法，包括以下步骤：S1、备片；S2、热氧化；S3、脱水烘加打底膜；S4、涂光刻胶；S5、将光刻胶中的溶剂含量降低到4％～7％；S6、将光刻掩膜版与硅晶圆对准；S7、采用扫描步进投影曝光；S8、中烘；S9、用显影液溶解掉曝光区域的光刻胶；S10、完全蒸发光刻胶的溶剂；S11、镜检；S12、对光刻掩模版并未覆盖的硅晶圆部分进行深反应离子刻蚀；S13、去胶；S14、金属化；S15、将两片硅晶圆进行键合；S16、切割波导无源器件单元；S17、端面金属化。本发明制造的器件具有工作频率高、介电损耗和辐射损耗小、易于制造和通用性强等优点。
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公开(公告)号：CN104183896B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201410392045.8
申请日：2014-08-11
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01P5/16
Abstract: 本发明公开了一种适用于太赫兹频段的四端口器件测试装置。其包括太赫兹分支波导功分器，所述太赫兹分支波导功分器的波导腔包括主波导腔和副波导腔，所述主波导腔和副波导腔相互平行且都呈长方体结构，所述主波导腔和副波导腔之间还具有呈长方体结构的N个分支波导腔，所述波导腔具体包括直耦合测试结构波导腔、平行耦合测试结构波导腔和隔离度测试结构波导腔三种测试结构波导腔。本发明的有益效果是：本发明的各测试端口直波导长度显著减短，器件趋于小型化，有效解决了直波导过长而带来巨大损耗的问题，具有低插损，功率容量大等特点，更为重要的是易于对器件性能进行测试。
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公开(公告)号：CN204008868U
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201420450489.8
申请日：2014-08-11
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01R27/28
Abstract: 本实用新型公开了一种适用于太赫兹频段四端口器件的十字型测试结构。其包括四面夹具、直波导夹具和太赫兹分支波导定向耦合器，直波导夹具由位于上部的直波导上夹具和位于下部的直波导下夹具层叠构成，四面夹具由位于上部的四面上夹具和位于下部的四面下夹具层叠构成，四面上夹具与四面下夹具的闭合面中心部分具有四面夹具凹槽，太赫兹分支波导定向耦合器位于四面夹具凹槽内。本实用新型的有益效果是：本实用新型有效解决了直波导过长而带来巨大损耗的问题，具有低插损，功率容量大、小型化等特点，易于对器件性能进行测试。
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