一种提高高精度光学元件反射率/透射率的测量方法

    公开(公告)号:CN114264453A

    公开(公告)日:2022-04-01

    申请号:CN202111607955.X

    申请日:2021-12-21

    Abstract: 本发明提供了一种提高高精度光学元件反射率/透射率的测量方法,该方法基于分光光度计原理,使用伪随机码以及特定频率载波对单激光器光源进行调制,将分束镜分出的两束光分别作为测量光与参考光,经探测器收集,电路采样,相关累积处理最终得出光学元件反射率/透射率。与传统的测量方法相比,具有更高的信噪比和抗干扰能力,相关累积的算法也提高了检测精度。

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