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公开(公告)号：CN106356445B
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201610959196.6
申请日：2016-10-28
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种热释电探测器吸收层表面金字塔阵列结构的制备方法，涉及热释电探测器电子技术领域。本发明提供的金字塔阵列结构能够解决现有镍铬或其他材质吸收层在红外波段反射率高的问题，通过在现有吸收层表面刻蚀形成由多个微型金字塔单元以m×n方式紧密排列组成金字塔阵列结构，其中，m与n均为正整数，使得红外辐射经过多次反射并逐渐被结构吸收，进而有效降低吸收层对红外辐射的反射率，从而达到提高探测器的电流响应、电压响应以及光电转换效率。该种金字塔阵列结构可以通过制备工艺中的参数对抗反射效果进行调控，并且其制备方法简单、成本低，有利于实现工业化生产，应用于热释电探测器以优化其性能。
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公开(公告)号：CN106525251A
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201610959073.2
申请日：2016-10-28
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种双通道热释电分光探测器、设置其内的沟槽结构分光阵列及分光阵列的制备方法，涉及热释电探测器电子技术领域。本发明公开的双通道热释电分光探测器采用沟槽结构分光阵列能够克服现有技术中直线型并行多通道探测器探测率低、信号输出微弱的缺点，所述沟槽结构分光阵列是由多个分光单元组合形成具有V型槽结构的正方形分光阵列，本发明通过合理设计分光单元组合形成分光阵列，以实现将内置于探测器中的分光阵列作为分光器，保证了每个探测通道信号的独立性和稳定性，运用本发明双通道热释电探测器能够实现分析同种气体的不同吸收波段，进而实现更精确的测定，也能实现同步分析多种气体，从而提高监测效率。
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公开(公告)号：CN106525251B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201610959073.2
申请日：2016-10-28
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种双通道热释电分光探测器、设置其内的沟槽结构分光阵列及分光阵列的制备方法，涉及热释电探测器电子技术领域。本发明公开的双通道热释电分光探测器采用沟槽结构分光阵列能够克服现有技术中直线型并行多通道探测器探测率低、信号输出微弱的缺点，所述沟槽结构分光阵列是由多个分光单元组合形成具有V型槽结构的正方形分光阵列，本发明通过合理设计分光单元组合形成分光阵列，以实现将内置于探测器中的分光阵列作为分光器，保证了每个探测通道信号的独立性和稳定性，运用本发明双通道热释电探测器能够实现分析同种气体的不同吸收波段，进而实现更精确的测定，也能实现同步分析多种气体，从而提高监测效率。
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公开(公告)号：CN105953928A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201610496476.8
申请日：2016-06-29
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01J5/20
CPC classification number: G01J5/20
Abstract: 本发明公开了一种热释电红外探测器，属于热释电探测器电子技术领域。本发明热释电红外探测器中探测单元包括：黑金层(1)、热释电晶体层(2)、底电极层(3)；所述热释电晶体层(2)包括顶面和与顶面相对的底面，所述黑金层(1)具有多孔结构，并通过电阻蒸发法沉积在热释电晶体层(2)的顶面，所述底电极层(3)沉积在热释电晶体层(3)的底面。本发明的热释电探测器采用黑金材料，因其在可见光波段的和红外波段范围内对于辐射有很高的吸收率以及具有较小的热容，故使得本发明探测器可以较多的吸收红外辐射及太赫兹辐射，具有较小的热损失，辐射能量能够较大程度的被热释电晶体利用，本发明可实现器件响应速度和敏感性等性能的提高。
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公开(公告)号：CN105789428B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201610290099.2
申请日：2016-05-05
Applicant: 电子科技大学
Abstract: 本发明公开了一种复合吸收层热释电红外探测器，属于热释电探测器技术领域。本发明热释电红外探测器中吸收层由顶层至底层依次包括：钛金属层(1)、介质层(2)、镍铬合金层(3)、钽酸锂晶体层(4)和反射层(5)；所述镍铬合金层(3)沉积在钽酸锂晶体层(4)的顶面，所述反射层(5)沉积在钽酸锂晶体层(4)的底面，所述钛金属层(1)沉积在介质层(2)的顶面。本发明制备出的热释电红外探测器的复合吸收层与单一金属吸收层薄膜作热敏感层相比，本发明具有更好的表面致密性、高的吸收系数和较小的热损失，能够获取高性能热响应，利于制备出高精度热释电红外探测器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105930560A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201610228278.3
申请日：2016-04-13
Applicant: 电子科技大学
IPC: G06F17/50
CPC classification number: G06F17/5036
Abstract: 本发明公开一种测定热释电红外探测器响应时间的方法，本发明属于红外探测器技术领域。本发明的测定方法首先建立热释电红外探测器的三维仿真模型，然后将待测试的热释电红外探测器的参数导入所述的三维仿真模型中，再加载环境边界条件，待所述三维仿真模型的温度稳定后在三维仿真模型上持续加载仿真动态热辐射脉冲至达到动态平衡温度，通过瞬态热传递有限元仿真方法分析，获得所述三维仿真模型的温升为纵坐标、时间为横坐标的曲线，所述曲线中从稳定温度到动态平衡温度时所对应的时间变化量即为所测热释电红外探测器的响应时间。本发明真实模拟器件工作状态，大大减小近似计算所带来的误差，提高测定的准确度。
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公开(公告)号：CN105810773A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201610290352.4
申请日：2016-05-05
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/101 , H01L31/0232 , G01J5/20
CPC classification number: H01L31/101 , G01J5/20 , H01L31/02327
Abstract: 本发明公开了一种谐振增强型热释电红外探测器，属于热释电探测器技术领域。本发明的红外传感器单元中的吸收层为复合层结构，由底层至顶层依次包括：底面设有金属反射层(1)和顶面设有第一金属吸收层(3)的钽酸锂晶片(2)，第一介质层(4)，第二金属吸收层(5)，第二介质层(6)以及第三金属层(7)；所述钽酸锂晶片(2)厚度为9～17微米。本发明采用平行平面腔使得光线在周期性透镜波导中来回振荡而不溢出波导之外,增加了入射光穿越吸收层的次数,从而间接提高了吸收层的吸收率，形成了稳定的透镜波导。本发明拓宽了热释电红外探测器的适用范围。
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公开(公告)号：CN105810773B
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201610290352.4
申请日：2016-05-05
Applicant: 电子科技大学
IPC: H01L31/101 , H01L31/0232 , G01J5/20
Abstract: 本发明公开了一种谐振增强型热释电红外探测器，属于热释电探测器技术领域。本发明的红外传感器单元中的吸收层为复合层结构，由底层至顶层依次包括：底面设有金属反射层(1)和顶面设有第一金属吸收层(3)的钽酸锂晶片(2)，第一介质层(4)，第二金属吸收层(5)，第二介质层(6)以及第三金属层(7)；所述钽酸锂晶片(2)厚度为9～17微米。本发明采用平行平面腔使得光线在周期性透镜波导中来回振荡而不溢出波导之外,增加了入射光穿越吸收层的次数,从而间接提高了吸收层的吸收率，形成了稳定的透镜波导。本发明拓宽了热释电红外探测器的适用范围。
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公开(公告)号：CN106356445A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610959196.6
申请日：2016-10-28
Applicant: 电子科技大学
CPC classification number: H01L37/02 , G01J5/12 , G01J2005/103 , H01L37/025
Abstract: 本发明公开了一种热释电探测器吸收层及其表面金字塔阵列结构的制备方法，涉及热释电探测器电子技术领域。本发明提供的金字塔阵列结构能够解决现有镍铬或其他材质吸收层在红外波段反射率高的问题，通过在现有吸收层表面刻蚀形成由多个微型金字塔单元以m×n方式紧密排列组成金字塔阵列结构，其中，m与n均为正整数，使得红外辐射经过多次反射并逐渐被结构吸收，进而有效降低吸收层对红外辐射的反射率，从而达到提高探测器的电流响应、电压响应以及光电转换效率。该种金字塔阵列结构可以通过制备工艺中的参数对抗反射效果进行调控，并且其制备方法简单、成本低，有利于实现工业化生产，应用于热释电探测器以优化其性能。
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公开(公告)号：CN106197688A
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201610514506.3
申请日：2016-06-29
Applicant: 电子科技大学
IPC: G01J5/34
CPC classification number: G01J5/34
Abstract: 本发明公开了一种热释电红外探测器，属于热释电探测器电子技术领域。本发明热释电红外探测器中探测单元包括：吸收层(1)、传感区和介质层(2)，所述吸收层(1)的材料为具有多孔结构的黑金金属，所述传感区设于吸收层(1)与介质层(2)之间，并包括热释电晶体层(4)、钛金属层一表面和与第一表面相反的第二表面，钛金属层(3)设于热释电晶体层的第一表面，并且所述钛金属层(3)与所述介质层(2)接触，反射层(5)设于热释电晶体层的第二表面。本发明通过增加钛金属层以实现黑金材料更好地集成在热释电探测器上；本发明通过实现热释电探测器的吸收层具有高吸收率和较小的热容，从而提高了器件的响应速度和敏感性。(3)和反射层(5)；所述热释电晶体层(4)包括第
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