半导体加工用胶粘带、以及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN108701601B

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN201780012489.6

    申请日:2017-03-02

    Abstract: 本发明的半导体加工用胶粘带是在下述工序中粘贴于半导体晶片的表面而使用的半导体加工用胶粘带,所述工序为:对于在半导体晶片表面形成了槽或者形成了改性区域的半导体晶片的背面进行磨削,并通过该磨削而将半导体晶片单片化为半导体芯片的工序,该半导体加工用胶粘带具备:基材、设置于所述基材的一面的缓冲层、以及设置于所述基材的另一面的粘合剂层,半导体加工用胶粘带的胶带总厚度为160μm以下,且所述缓冲层的厚度(D2)与基材的厚度(D1)之比(D2/D1)为0.7以下,并且对于半导体晶片的剥离力为1000mN/50mm以下。

    半导体加工用胶粘带、以及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN108377659B

    公开(公告)日:2022-08-23

    申请号:CN201780004262.7

    申请日:2017-03-02

    Abstract: 本发明的半导体加工用胶粘带是在下述工序中粘贴于半导体晶片的表面而使用的半导体加工用胶粘带,所述工序为:对于在半导体晶片表面形成了槽或者形成了改性区域的半导体晶片的背面进行磨削,并通过该磨削而将半导体晶片单片化为半导体芯片的工序,该半导体加工用胶粘带具备:基材、设置于基材的一面的缓冲层、以及设置于所述基材的另一面侧的粘合剂层,所述缓冲层的厚度(D2)与基材的厚度(D1)之比(D2/D1)为0.7以下,并且所述缓冲层侧表面的压入深度(X)为2.5μm以下。

    半导体加工用胶粘带、以及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN108377659A

    公开(公告)日:2018-08-07

    申请号:CN201780004262.7

    申请日:2017-03-02

    CPC classification number: B23K26/53 C09J7/20 C09J201/00

    Abstract: 本发明的半导体加工用胶粘带是在下述工序中粘贴于半导体晶片的表面而使用的半导体加工用胶粘带,所述工序为:对于在半导体晶片表面形成了槽或者形成了改性区域的半导体晶片的背面进行磨削,并通过该磨削而将半导体晶片单片化为半导体芯片的工序,该半导体加工用胶粘带具备:基材、设置于基材的一面的缓冲层、以及设置于所述缓冲层的另一面侧的粘合剂层,所述缓冲层的厚度(D2)与基材的厚度(D1)之比(D2/D1)为0.7以下,并且所述缓冲层侧表面的压入深度(X)为2.5μm以下。

    半导体加工用胶粘带、以及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN108701601A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201780012489.6

    申请日:2017-03-02

    CPC classification number: H01L21/304 C09J7/20 C09J133/04

    Abstract: 本发明的半导体加工用胶粘带是在下述工序中粘贴于半导体晶片的表面而使用的半导体加工用胶粘带,所述工序为:对于在半导体晶片表面形成了槽或者形成了改性区域的半导体晶片的背面进行磨削,并通过该磨削而将半导体晶片单片化为半导体芯片的工序,该半导体加工用胶粘带具备:基材、设置于所述基材的一面的缓冲层、以及设置于所述基材的另一面的粘合剂层,半导体加工用胶粘带的胶带总厚度为160μm以下,且所述缓冲层的厚度(D2)与基材的厚度(D1)之比(D2/D1)为0.7以下,并且对于半导体晶片的剥离力为1000mN/50mm以下。

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