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公开(公告)号：CN119993883A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202411916886.4
申请日：2024-12-24
Applicant: 珠海格力电子元器件有限公司 , 珠海格力电器股份有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供了半导体自动化工厂天车货物运送的控制方法及电子设备，该方法包括：机台的控制端根据第一控制系统的派工信息将派工需求发送给天车系统；根据派工需求，天车系统运送货物至机台；其中货物包括晶圆储存盒、用于储存晶圆的放置件，放置件位于晶圆储存盒内。第一控制系统和机台的控制端均储存有晶圆储存盒与放置件的绑定信息A；货物达到机台，晶圆储存盒解开，放置件被取出，天车系统将空的晶圆储存盒运走；且在晶圆储存盒解开时，机台的控制端将绑定信息A解绑，第一控制系统仍储存绑定信息A。该方法能够实现晶圆储存盒和放置件的精准匹配，使得天车能够在不同的机台间进行运送作业，能够提高生产效率，降低生产成本。
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