蒸发设备
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111093367B

    公开(公告)日:2023-08-01

    申请号:CN201880049911.X

    申请日:2018-06-22

    Abstract: 公开了用于蒸发化学试剂并且将化学试剂作为熏蒸剂输送至需要处理的区域的设备。蒸发设备包括加热器,该加热器与气体流流体连通。混合装置与化学试剂流流体连通。加热器将气体加热以产生热气体流。热气体流被引导至混合装置,由此热气体流接触化学试剂流,从而使化学试剂流的至少一部分蒸发。还公开了使用该设备的处理方法。

    蒸发设备
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111093367A

    公开(公告)日:2020-05-01

    申请号:CN201880049911.X

    申请日:2018-06-22

    Abstract: 公开了用于蒸发化学试剂并且将化学试剂作为熏蒸剂输送至需要处理的区域的设备。蒸发设备包括加热器,该加热器与气体流流体连通。混合装置与化学试剂流流体连通。加热器将气体加热以产生热气体流。热气体流被引导至混合装置,由此热气体流接触化学试剂流,从而使化学试剂流的至少一部分蒸发。还公开了使用该设备的处理方法。

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