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公开(公告)号：CN113767462A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202080030608.2
申请日：2020-09-08
Applicant: 玛皓株式会社
Inventor： 村山一成
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明的目的在于提供一种以往没有的划时代的工件处理装置。一种工件处理装置，其使由工件运送部(7)运送的工件(W)在喷丸部(2)中与作为液体(50a)和磨粒(50b)的混合物的浆料(50)碰撞，该工件处理装置构成为，所述喷丸部(2)是通过叶轮(1)的旋转来投射所述浆料(50)的构造，该工件处理装置还具有：浆料收纳桶部(3)，其收纳所述浆料(50)；浆料运送部(4)，其将浆料(50)从该浆料收纳桶部(3)运送至所述喷丸部(2)；浆料回收部(5)，其将在所述喷丸部(2)中使用的使用完的浆料(50)向所述浆料收纳桶部(3)回收；以及工件清洗部(8)，其在所述喷丸部(2)对工件(W)进行喷丸后对该工件(W)进行清洗。
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