一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉

    公开(公告)号:CN101403136B

    公开(公告)日:2010-09-08

    申请号:CN200810175871.1

    申请日:2008-11-07

    Applicant: 王飞

    Inventor: 王飞 赖汝萍

    Abstract: 一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉,涉及硅单晶炉配套设备,包括料筒(7),料筒(7)设有上端外表面向内延伸的凸台(8),料筒(7)的底边内翻并卡设一硅片(6),压杆外套筒(4)两端通过上下扁钢片(9、10)固设在料筒(7)内,压杆外套筒(4)内设有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5),压杆(5)的上端设有压杆滑轮(3),通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接,另一端和操纵机构滑轮(1)连接。本发明,结构简单,能够在不开炉的条件下,连续向石英坩埚内投料,使得硅单晶炉产量和成品率增高,降低能耗和成本。

    一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉

    公开(公告)号:CN101403136A

    公开(公告)日:2009-04-08

    申请号:CN200810175871.1

    申请日:2008-11-07

    Applicant: 王飞

    Inventor: 王飞 赖汝萍

    Abstract: 一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉,涉及硅单晶炉配套设备,包括料筒(7),料筒(7)设有上端外表面向内延伸的凸台(8),料筒(7)的底边内翻并卡设一硅片(6),压杆外套筒(4)两端通过上下扁钢片(9、10)固设在料筒(7)内,压杆外套筒(4)内设有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5),压杆(5)的上端设有压杆滑轮(3),通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接,另一端和操纵机构滑轮(1)连接。本发明结构简单,能够在不开炉的条件下,连续向石英坩埚内投料,使得硅单晶炉产量和成品率增高,降低能耗和成本。

    一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉

    公开(公告)号:CN201309979Y

    公开(公告)日:2009-09-16

    申请号:CN200820178207.8

    申请日:2008-11-07

    Applicant: 王飞

    Inventor: 王飞 赖汝萍

    Abstract: 一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉,涉及硅单晶炉配套设备,包括料筒(7),料筒(7)设有上端外表面向内延伸的凸台(8),料筒(7)的底边内翻并卡设一硅片(6),压杆外套筒(4)两端通过上下扁钢片(9、10)固设在料筒(7)内,压杆外套筒(4)内设有可在压杆外套筒(4)内上下移动的压杆(5),压杆(5)的上端设有压杆滑轮(3),通过销轴(11)设置在上扁钢片(9)上的操纵连杆(2)的一端和压杆滑轮(3)的外表面抵接,另一端和操纵机构滑轮(1)连接。本实用新型,结构简单,能够在不开炉的条件下,连续向石英坩埚内投料,使得硅单晶炉产量和成品率增高,降低能耗和成本。

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