公开(公告)号：CN1280188C

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：CN02822455.8

申请日：2002-11-05

Applicant: 独立行政法人科学技术振兴机构 ,  日本电气株式会社

Inventor： 饭岛澄男 ,  汤男坂雅子 ,  小盐明

IPC: C01B31/02

CPC classification number: B82Y30/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/16 ,  C01B2202/06 ,  C01B2202/30 ,  C01B2202/36 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/0052 ,  Y10S977/741 ,  Y10T428/30

Abstract: 本发明涉及锐端多层碳质纳米管放射状集合体及其制造方法。通过在添加有氢的惰性气体环境气氛中所产生的等离子体焰中导入碳棒，使碳蒸发，在碳棒表面堆积制造作为STM或AFM用探针，显示元件，显示器件等的场致发射电子源等使用的，作为新型纳米碳结构的锐端多层碳质纳米管放射状集合体。

公开(公告)号：CN1608030A

公开(公告)日：2005-04-20

申请号：CN02822455.8

申请日：2002-11-05

Applicant: 独立行政法人科学技术振兴机构 ,  日本电气株式会社

Inventor： 饭岛澄男 ,  汤男坂雅子 ,  小盐明

IPC: C01B31/02

CPC classification number: B82Y30/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/16 ,  C01B2202/06 ,  C01B2202/30 ,  C01B2202/36 ,  H01L51/0048 ,  H01L51/0052 ,  Y10S977/741 ,  Y10T428/30

Abstract: 本发明涉及锐端多层碳质纳米管放射状集合体及其制造方法。通过在添加有氢的惰性气体环境气氛中所产生的等离子体焰中导入碳棒，使碳蒸发，在碳棒表面堆积制造作为STM或AFM用探针，显示元件，显示器件等的场致发射电子源等使用的，作为新型纳米碳结构的锐端多层碳质纳米管放射状集合体。