公开(公告)号：CN107850647A

公开(公告)日：2018-03-27

申请号：CN201680045285.8

申请日：2016-06-21

Applicant: 爱知制钢株式会社

Inventor： 下砥隆 ,  中村润 ,  山下隆介 ,  长尾知彦 ,  山本道治

IPC: G01R33/02 ,  H01L43/08

Abstract: 本发明的目的在于提供一种不仅实现小型化、薄型化而且也能实现高精度化的磁检测装置。本发明的磁检测装置(1)具备：基板(S1)；MI元件，配置于基板，具有对延伸方向的外部磁场分量进行感应的磁敏线(W1)和环绕磁敏线的检测线圈(C1)；及磁场变向体(F1)，对磁敏线的周围的外部磁场进行变向。本发明的磁场变向体具有：由非磁性材料构成的芯部(F10)；将芯部的至少一部分的外侧覆盖的由软磁性材料构成的壳部(F11)。这样磁场变向体不是软磁性材料的实心构造而成为空心构造，因此与以往相比能大幅降低软磁性材料的体积，在磁场变向体产生的磁滞也大幅缩小。因此，根据本发明的磁检测装置，也能更高精度地检测与基板正交的磁场分量。

公开(公告)号：CN107850647B

公开(公告)日：2020-03-03

申请号：CN201680045285.8

申请日：2016-06-21

Applicant: 爱知制钢株式会社

Inventor： 下砥隆 ,  中村润 ,  山下隆介 ,  长尾知彦 ,  山本道治

IPC: G01R33/02 ,  H01L43/08

Abstract: 本发明的目的在于提供一种不仅实现小型化、薄型化而且也能实现高精度化的磁检测装置。本发明的磁检测装置(1)具备：基板(S1)；MI元件，配置于基板，具有对延伸方向的外部磁场分量进行感应的磁敏线(W1)和环绕磁敏线的检测线圈(C1)；及磁场变向体(F1)，对磁敏线的周围的外部磁场进行变向。本发明的磁场变向体具有：由非磁性材料构成的芯部(F10)；将芯部的至少一部分的外侧覆盖的由软磁性材料构成的壳部(F11)。这样磁场变向体不是软磁性材料的实心构造而成为空心构造，因此与以往相比能大幅降低软磁性材料的体积，在磁场变向体产生的磁滞也大幅缩小。因此，根据本发明的磁检测装置，也能更高精度地检测与基板正交的磁场分量。