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公开(公告)号：CN107941343A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201711013964.X
申请日：2017-10-26
Applicant: 燕山大学
IPC: G01J5/00
CPC classification number: G01J5/00 , G01J2005/0077
Abstract: 本发明公开了一种高精度光学微扫描显微热成像系统。针对中国专利申请号为200710160758.1的专利申请“带有光学平板微扫描器的高分辨力显微成像方法”中存在较大的微扫描误差，空间分辨力低，而且对机械、光学加工精度要求严格，不利用系统的产品化问题，本发明的核心目的是提供一种更高精度的光学平板旋转微扫描系统，与原有显微热成像系统完成了一体化设计得到的高精度光学微扫描显微热成像系统。本发明通过建立考虑多因素的误差数学模型，进一步优化了系统设计，减小了已研制光学微扫描显微热成像系统的微扫描误差，提高了系统的空间分辨力，使得系统性能得到进一步提升，更加利于系统的实例化和产品化。
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