公开(公告)号：CN119573912A

公开(公告)日：2025-03-07

申请号：CN202411765323.X

申请日：2024-12-04

Applicant: 燕山大学

Inventor： 付兴虎 ,  李根 ,  苗于栋 ,  金娃

IPC: G01K11/3206 ,  G01L11/02 ,  G01K1/20 ,  G01L19/04 ,  G01D21/02

Abstract: 本发明提供了一种基于游标效应和PDMS(聚二甲基硅氧烷Polydimethylsiloxane)的光纤气压和温度传感器及其制备方法。首先将单模光纤(SMF)的端面切平形成第二反射面，然后在距离第二反射面105μm的纤芯处利用飞秒激光器刻蚀出第一反射面，接着在毛细玻璃管中制备出PDMS薄膜形成第三反射面，最后利用套管法将传感器级联，形成三反射面的F‑P传感器，通过调控三个反射面的距离来实现游标效应。由于光纤布拉格光栅(FBG)对温度敏感并且不受气压的影响，将传感器级联FBG作为温度补偿。当气压或者温度变化时，导致传感器的腔长发生变化，可以通过监测波长变化来实现温度和气压测量。本发明具有结构紧凑、灵敏度高、温度补偿的特点，可用于气象监测、精密测量环境下的气压和温度检测。