一种带光学平板微扫描器的制冷型显微热成像装置及方法

    公开(公告)号:CN109489832A

    公开(公告)日:2019-03-19

    申请号:CN201811391416.5

    申请日:2018-11-21

    Applicant: 燕山大学

    Abstract: 本发明公开一种带光学平板微扫描器的制冷型显微热成像装置及方法。该显微热成像装置包括制冷焦平面探测器、红外显微物镜、红外光学平板、光学平板支座、自动旋转平台;红外显微物镜位于自动旋转平台的下方;光学平板支座固定在自动旋转平台上,红外光学平板与红外显微物镜的光轴保持倾角θ并固定在光学平板支座上。本发明通过在红外显微物镜和制冷焦平面探测器之间插入光学平板微扫描器,得到一种带光学平板微扫描器的制冷型显微热成像装置及方法,相比相同倍率和相同制冷焦平面探测器的显微热成像装置具有更高的空间分辨力和温度分辨力。

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