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公开(公告)号：CN106591787B
公开(公告)日：2019-04-09
申请号：CN201611011546.2
申请日：2016-11-17
Applicant: 燕山大学
Abstract: 一种厚度渐变图案化薄膜的制备方法，其主要是：根据要得到的厚度渐变图案利用ANSYS、COMSOL等软件来设计磁场，磁场由永磁体或软磁体构成，然后把放置好永磁体或软磁体的衬底固定在磁控溅射仪器正极的样品台上，使衬底不带磁铁的一面朝向磁性金属靶，把磁性金属靶固定在磁控溅射仪器负极的靶台上，开始溅射，溅射过程中通过观察膜厚仪示数，待显示薄膜厚度达到合适厚度时停止溅射，在衬底上得到图案化厚度分布的金属薄膜。本发明方法可以灵活多变并获得多种图案化的薄膜，薄膜的厚度是无台阶渐变的；同时磁场可以方便的加入到磁控溅射、真空热沉积等薄膜制备工艺中，磁铁可重复利用，操作灵活，简单可靠，成本低廉。
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公开(公告)号：CN106591787A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611011546.2
申请日：2016-11-17
Applicant: 燕山大学
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/14 , C23C14/542
Abstract: 一种厚度渐变图案化薄膜的制备方法，其主要是：根据要得到的厚度渐变图案利用ANSYS、COMSOL等软件来设计磁场，磁场由永磁体或软磁体构成，然后把放置好永磁体或软磁体的衬底固定在磁控溅射仪器正极的样品台上，使衬底不带磁铁的一面朝向磁性金属靶，把磁性金属靶固定在磁控溅射仪器负极的靶台上，开始溅射，溅射过程中通过观察膜厚仪示数，待显示薄膜厚度达到合适厚度时停止溅射，在衬底上得到图案化厚度分布的金属薄膜。本发明方法可以灵活多变并获得多种图案化的薄膜，薄膜的厚度是无台阶渐变的；同时磁场可以方便的加入到磁控溅射、真空热沉积等薄膜制备工艺中，磁铁可重复利用，操作灵活，简单可靠，成本低廉。
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公开(公告)号：CN106017756A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610538661.9
申请日：2016-07-08
Applicant: 燕山大学
CPC classification number: G01L1/242 , G01L11/025
Abstract: 一种基于亚微米超平滑金属薄膜的高灵敏FP压力传感器，其主要是：作为FP腔体的毛细玻璃管，其一个环形端面与单模光纤的横截面熔接，环形端面的外径和单模光纤的直径相等，该毛细玻璃管的另一个环形端面与将其覆盖的圆形金属薄膜固连，该金属薄膜为表面平整度高且厚度为亚微米级的金属薄膜，并且单模光纤的横截面中心、金属薄膜的中心均在毛细玻璃管的轴线上，所述金属薄膜采用银、铝或镍制备。本发明的结构光纤化，结构简单、体积纤小，可靠性高，能够实现压力的高精度测量，同时便于大规模组网。
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